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xiaowenzi2

铁杆木虫 (小有名气)

[求助] 紫外光刻掩膜板 已有1人参与

如题,有哪位懂的麻烦讲下紫外光刻掩膜板的要求,以及可以用作掩膜板的光学材料种类。
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xiaowenzi2

铁杆木虫 (小有名气)

补充:是用于紫外光刻的相位掩膜板
2楼2012-04-18 16:56:23
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lulinsmann

木虫 (著名写手)

三无小小鸟

【答案】应助回帖


感谢参与,应助指数 +1
xiaowenzi2: 金币+1 2012-04-18 22:50:31
不是太懂,不过一般的光刻掩膜似乎都是玻璃上镀铬的
江湖背影
3楼2012-04-18 19:14:18
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xiaowenzi2

铁杆木虫 (小有名气)

谢谢参与哦,镀铬的是振幅型的,我现想了解下什么材料可以做相位型的
4楼2012-04-18 22:50:06
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fznm1234

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★
感谢参与,应助指数 +1
xiaowenzi2: 金币+2, 谢谢参与 2012-04-20 16:36:43
光刻线条尺度与波长有关,波长越短,能刻的线条就越细。我们实验室里用的是汞灯,波长在300——436nm,所以光刻线条在3——4um,最细可达2um,具体材料不详,都是南京55所做的,你找下相关的书吧
再不疯狂,我们就老了
5楼2012-04-20 09:38:54
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李瑞琴专用

金虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

首先此材料要对紫外光是没吸收的,在可见光波段是没有荧光的。其次结构上要满足相位掩膜版的光栅结构条件。建议只用PDMS材料,先用普通的掩膜版制作光栅结构,然后在其上面图上PDMS的前驱物,加热固化即可。
孜孜以求必有所获
6楼2014-04-22 09:43:47
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