应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳器件 » 【求助】光刻板的问题
101/1返回列表
查看: 3535  |  回复: 9
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看

taysani

金虫 (小有名气)

[交流] 【求助】光刻板的问题

我刚刚开始接触光刻。现在想定做一块光刻板，应该是光刻掩模板吧，就是光刻时覆盖在基体上的。我在网上查了一下关于光刻板的参数。网上说有G线，l线，有说光刻板材料分为钙钠玻璃和石英玻璃，还有什么铬板之类的。我问一下，这个光刻板的材料有什么讲究吗？不同材料的优缺点在哪里？还有就是什么是光刻板的最小线宽？是指图形边缘线的粗细吗？希望有能人详细的讲解一下关于光刻板的知识，不甚感激。
回复此楼

» 收录本帖的淘帖专辑推荐

暗场

» 猜你喜欢

» 本主题相关商家推荐: (我也要在这里推广)

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:

» 抢金币啦！回帖就可以得到:

查看全部散金贴
1楼 2011-03-18 20:03:22
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

xnsytdl

铜虫 (正式写手)
★
xjajx(金币+1): 鼓励交流 2011-03-25 23:26:31
你可以问问中科院微纳研究所
赞一下(1人) 回复此楼
2楼2011-03-23 20:34:20
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

dugu

木虫 (小有名气)
★ ★
xjajx(金币+2): 鼓励交流 2011-03-25 23:26:10
taysani(金币+5): 2011-04-01 09:22:38
楼主所说的，是光刻里最基础的知识。
光刻掩模板一般用石英玻璃作为基体，采用石英是由于其优良的近紫外透过率。
掩模板挡光部分用Cr，所以有时也叫铬板。
采用汞灯的g线或i线，取决于你所用的光刻胶，每种光刻胶产品说明都会列出其所敏感的光波段。
赞一下(1人) 回复此楼
3楼2011-03-25 22:35:19
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

yxznjust

禁虫 (初入文坛)
★ ★
xjajx(金币+2): 鼓励交流 2011-03-25 23:26:23
taysani(金币+5): 2011-04-01 09:22:32
本帖内容被屏蔽
4楼2011-03-25 23:15:09
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

hanjunhao

铜虫 (初入文坛)
学习了
回复此楼
5楼2011-03-30 16:03:33
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

kpliu1

新虫 (初入文坛)
掩模板一般就是在镀铬的石英基片上做图形，图形由透光（无铬）和不透光（有铬）区域组成，最小线宽就是掩模图形中最窄线条的宽度。我实验室可以制作图形面积不大于400mm2的掩模，收费比公司便宜得多哈。
联系电话：15108299816赵工  邮箱：zyy44138172@126.com
赞一下 回复此楼
6楼2011-03-30 22:10:08
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

quanten

金虫 (著名写手)
正版与反版
回复此楼
7楼2011-03-30 23:45:41
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

quanten

金虫 (著名写手)
首先要有光刻机
回复此楼
9楼2012-04-21 19:21:02
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

yjsdaniel

银虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
2楼: Originally posted by xnsytdl at 2011-03-23 20:34:20
你可以问问中科院微纳研究所

全称是什么？有链接么
赞一下 回复此楼
10楼2014-11-27 17:58:43
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
简单回复
潍坊星泰克8楼
2012-04-01 11:04   回复  
相关版块跳转 我要订阅楼主 taysani 的主题更新
101/1返回列表
普通表情 龙 兔 虎 猫 高级回复 (可上传附件)
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 0703化学调剂 ，六级已过，有科研经历 +12 曦熙兮 2026-03-15 12/600 2026-03-19 19:42 by maocaozhuxi
[考研] 271材料工程求调剂 +6 .6lL 2026-03-18 6/300 2026-03-19 15:41 by haoshis
[考研] 266求调剂 +5 阳阳哇塞 2026-03-14 10/500 2026-03-19 15:08 by 阳阳哇塞
[考研] 本人考085602 化学工程 专硕 +17 不知道叫什么！ 2026-03-15 19/950 2026-03-19 15:06 by 尽舜尧1
[考研] 0703化学调剂，求各位老师收留 +10 秋有木北 2026-03-14 10/500 2026-03-19 05:52 by anny19840123
[考研] 0854可跨调剂，一作一项核心论文五项专利，省、国级证书40+数一英一287 +8 小李0854 2026-03-16 8/400 2026-03-18 14:35 by 搏击518
[考研] 收复试调剂生 +4 雨后秋荷 2026-03-18 4/200 2026-03-18 14:16 by elevennnne
[考研] 302求调剂 +10 呼呼呼。。。。 2026-03-17 10/500 2026-03-18 12:45 by Linda Hu
[考研] 278求调剂 +5 烟火先于春 2026-03-17 5/250 2026-03-18 08:43 by 星空星月
[考研] 277调剂 +5 自由煎饼果子 2026-03-16 6/300 2026-03-17 19:26 by 李leezz
[考研] 一志愿南京大学，080500材料科学与工程，调剂 +4 Jy? 2026-03-16 4/200 2026-03-17 11:02 by gaoqiong
[论文投稿] 有没有大佬发小论文能带我个二作 +3 增锐漏人 2026-03-17 4/200 2026-03-17 09:26 by xs74101122
[考研] 东南大学364求调剂 +5 JasonYuiui 2026-03-15 5/250 2026-03-16 21:28 by 木瓜膏
[考研] 药学383 求调剂 +3 药学chy 2026-03-15 4/200 2026-03-16 20:51 by 元子^0^
[考研] 304求调剂 +3 曼殊2266 2026-03-14 3/150 2026-03-16 16:39 by houyaoxu
[考研] 0856求调剂 +3 刘梦微 2026-03-15 3/150 2026-03-16 10:00 by houyaoxu
[考研] 26考研一志愿中国石油大学(华东)305分求调剂 +3 嘉年新程 2026-03-15 3/150 2026-03-15 13:58 by 哈哈哈哈嘿嘿嘿
[考研] 复试调剂 +3 呼呼？~+123456 2026-03-14 3/150 2026-03-14 16:53 by WTUChen
[考研] 26调剂/材料科学与工程/总分295/求收留 +9 2026调剂侠 2026-03-12 9/450 2026-03-13 20:46 by 18595523086
[考研] 311求调剂 +3 冬十三 2026-03-13 3/150 2026-03-13 20:41 by JourneyLucky
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭