| 查看: 3891 | 回复: 9 | ||||
[交流]
【求助】光刻板的问题
|
||||
| 我刚刚开始接触光刻。现在想定做一块光刻板，应该是光刻掩模板吧，就是光刻时覆盖在基体上的。我在网上查了一下关于光刻板的参数。网上说有G线，l线，有说光刻板材料分为钙钠玻璃和石英玻璃，还有什么铬板之类的。我问一下，这个光刻板的材料有什么讲究吗？不同材料的优缺点在哪里？还有就是什么是光刻板的最小线宽？是指图形边缘线的粗细吗？希望有能人详细的讲解一下关于光刻板的知识，不甚感激。 |
回复此楼» 收录本帖的淘帖专辑推荐
 暗场 |
» 猜你喜欢
金属材料论文润色/翻译怎么收费?
已经有181人回复
» 本主题相关商家推荐: (我也要在这里推广)
» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
- 哪位高手帮忙画一个光刻板（掩模板）图纸，简单的阵列结构。
已经有24人回复
- 求高手解救荧光定量的问题
已经有6人回复
- 荧光定量问题
已经有4人回复
- 求助关于光纤耦合损耗的问题
已经有14人回复
- 关于免疫荧光的问题，期待您的回复
已经有9人回复
- 【求助】请教：石墨法做铜曲线，吸光度非常低问题？
已经有9人回复
- 【求助】请教：原子吸收 吸光度问题？
已经有4人回复
- 【求助】关于可见光吸光度的相关问题
已经有6人回复
- 【求助】光波导的问题
已经有12人回复
2楼2011-03-23 20:34:20
3楼2011-03-25 22:35:19
★ ★
xjajx(金币+2): 鼓励交流 2011-03-25 23:26:23
taysani(金币+5): 2011-04-01 09:22:32
xjajx(金币+2): 鼓励交流 2011-03-25 23:26:23
taysani(金币+5): 2011-04-01 09:22:32
|
本帖内容被屏蔽 |
4楼2011-03-25 23:15:09
5楼2011-03-30 16:03:33
|
掩模板一般就是在镀铬的石英基片上做图形，图形由透光（无铬）和不透光（有铬）区域组成，最小线宽就是掩模图形中最窄线条的宽度。我实验室可以制作图形面积不大于400mm2的掩模，收费比公司便宜得多哈。 联系电话：15108299816赵工 邮箱：zyy44138172@126.com |
6楼2011-03-30 22:10:08
7楼2011-03-30 23:45:41
9楼2012-04-21 19:21:02
10楼2014-11-27 17:58:43
简单回复
潍坊星泰克8楼
2012-04-01 11:04
回复
投票:
10