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lzb7758520

铁杆木虫 (著名写手)

[求助] 哪位高手帮忙画一个光刻板(掩模板)图纸,简单的阵列结构。

我想光刻一定的图案在硅片上,光刻机也联系好了,现在需要光刻板,我问深圳一公司可以做,承诺比较快,可是我压根没见过这种光刻板图纸长啥样,他那边公司说是保密图纸,不给我。寻求高手帮忙给做下吧,那边说AUTO CAD的图纸就可以,或者其他软件的。
我的图案在下边,硅片的总尺寸是30mmx30mm,
第一个图案就是规则的矩形,矩形尺寸 30mmx0.002mm,间隔0.002mm。
第二个图案是正方形,边长为0.002mm,间隔均为0.002mm。
最好第三个也能做下,同心圆环,环宽0.002mm,间隔0.002mm。
实在是没见过图纸,拜托各位高手。
如果是哪个厂家顺便帮我设计了,那更好了,一条龙服务。呵呵。

图一



图2



图3

[ Last edited by lzb7758520 on 2012-1-5 at 13:17 ]
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梦想不能当饭吃啊
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lzb7758520

铁杆木虫 (著名写手)

引用回帖:
3楼: Originally posted by bingan727 at 2012-01-05 13:46:14:
你的图是Pro-E画的吗? 如果是的话,基于你现有的三维图可以得到俯视图,侧视图和主视图,就跟Auto CAD一样。具体如何操作,你可以看看Pro-E的书。

不是,我是用3Dmax画的,
梦想不能当饭吃啊
4楼2012-01-05 15:10:43
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zhiqing9967

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
找到ledit 了吗,我有。
10楼2012-01-05 21:31:41
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lxh419

金虫 (正式写手)

独孤求败

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
这个很简单的,用ATUO CAD 或Solidworks 就可以画了,最后生成工程制图就可了。
我用的是Solidworks。本来打算帮LZ画的,只是发现LZ没有给刻蚀深度啊!

» 本帖已获得的红花(最新10朵)

孤舟蓑笠翁,独钓寒江雪。
11楼2012-01-06 11:07:01
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普通回帖

hls85915

荣誉版主 (文坛精英)

科研工具版——沙漠之胡

优秀版主优秀版主

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
这个画不了,不过你可以找打印地方的人画
哈哈
2楼2012-01-05 13:27:12
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bingan727

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
你的图是Pro-E画的吗? 如果是的话,基于你现有的三维图可以得到俯视图,侧视图和主视图,就跟Auto CAD一样。具体如何操作,你可以看看Pro-E的书。
3楼2012-01-05 13:46:14
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lzb7758520

铁杆木虫 (著名写手)

引用回帖:
2楼: Originally posted by hls85915 at 2012-01-05 13:27:12:
这个画不了,不过你可以找打印地方的人画

我不知道你这个难画是什么意思?这个图纸是不是很复杂?打印的地方估计给钱可能会画
梦想不能当饭吃啊
5楼2012-01-05 15:12:31
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zhangwj

荣誉版主 (职业作家)

小木虫无限续航核潜艇

我觉得用Ledit画就是了,你自己在网上找个破解版的,如果没有记错的话8.3版肯定有破解的,然后按照要求画就是了,画好单个,然后镜像成阵列就是了。
什么技术保密都是唬人的,这个保什么密啊?
谢谢支持材料区@小木虫论坛
6楼2012-01-05 15:28:55
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yangguang53

金虫 (小有名气)


【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
其实不用画图纸,你只告诉他他们应该可以给你做,请问你是做什么材料的?
7楼2012-01-05 18:20:34
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lzb7758520

铁杆木虫 (著名写手)

内容已删除
梦想不能当饭吃啊
8楼2012-01-05 21:10:19
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lzb7758520

铁杆木虫 (著名写手)

引用回帖:
7楼: Originally posted by yangguang53 at 2012-01-05 18:20:34:
其实不用画图纸,你只告诉他他们应该可以给你做,请问你是做什么材料的?

微纳合成,就是银金SERS应用
梦想不能当饭吃啊
9楼2012-01-05 21:11:15
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