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lzb7758520铁杆木虫 (著名写手)
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[求助]
哪位高手帮忙画一个光刻板（掩模板）图纸，简单的阵列结构。
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我想光刻一定的图案在硅片上，光刻机也联系好了，现在需要光刻板，我问深圳一公司可以做，承诺比较快，可是我压根没见过这种光刻板图纸长啥样，他那边公司说是保密图纸，不给我。寻求高手帮忙给做下吧，那边说AUTO CAD的图纸就可以，或者其他软件的。 我的图案在下边，硅片的总尺寸是30mmx30mm， 第一个图案就是规则的矩形，矩形尺寸 30mmx0.002mm,间隔0.002mm。 第二个图案是正方形，边长为0.002mm，间隔均为0.002mm。 最好第三个也能做下，同心圆环，环宽0.002mm，间隔0.002mm。 实在是没见过图纸，拜托各位高手。 如果是哪个厂家顺便帮我设计了，那更好了，一条龙服务。呵呵。  图一  图2  图3 [ Last edited by lzb7758520 on 2012-1-5 at 13:17 ] |
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 暗场 |
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lxh419
金虫 (正式写手)
独孤求败
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- 专业: 等离子体物理
【答案】应助回帖
感谢参与，应助指数 +1
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这个很简单的，用ATUO CAD 或Solidworks 就可以画了，最后生成工程制图就可了。 我用的是Solidworks。本来打算帮LZ画的，只是发现LZ没有给刻蚀深度啊！ |
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lzb775852011楼2012-01-06 11:07:01