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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳器件 » 哪位高手帮忙画一个光刻板（掩模板）图纸，简单的阵列结构。
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lzb7758520

铁杆木虫 (著名写手)

[求助] 哪位高手帮忙画一个光刻板（掩模板）图纸，简单的阵列结构。

我想光刻一定的图案在硅片上，光刻机也联系好了，现在需要光刻板，我问深圳一公司可以做，承诺比较快，可是我压根没见过这种光刻板图纸长啥样，他那边公司说是保密图纸，不给我。寻求高手帮忙给做下吧，那边说AUTO CAD的图纸就可以，或者其他软件的。
我的图案在下边，硅片的总尺寸是30mmx30mm，
第一个图案就是规则的矩形，矩形尺寸 30mmx0.002mm,间隔0.002mm。
第二个图案是正方形，边长为0.002mm，间隔均为0.002mm。
最好第三个也能做下，同心圆环，环宽0.002mm，间隔0.002mm。
实在是没见过图纸，拜托各位高手。
如果是哪个厂家顺便帮我设计了，那更好了，一条龙服务。呵呵。

图一



图2



图3

[ Last edited by lzb7758520 on 2012-1-5 at 13:17 ]
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梦想不能当饭吃啊
1楼 2012-01-05 13:15:30
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lzb7758520

铁杆木虫 (著名写手)
送鲜花一朵
引用回帖:
楼: Originally posted by lxh419 at 2012-01-06 11:07:01:
这个很简单的，用ATUO CAD 或Solidworks 就可以画了，最后生成工程制图就可了。
我用的是Solidworks。本来打算帮LZ画的，只是发现LZ没有给刻蚀深度啊！

能不能帮我画下？非常感谢！我只要二维的工程图纸就行，标定好就可以。
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梦想不能当饭吃啊
14楼2012-01-08 19:04:21
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hls85915

荣誉版主 (文坛精英)

科研工具版——沙漠之胡

优秀版主优秀版主

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
这个画不了，不过你可以找打印地方的人画
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哈哈
2楼2012-01-05 13:27:12
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bingan727

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
你的图是Pro-E画的吗？ 如果是的话，基于你现有的三维图可以得到俯视图，侧视图和主视图，就跟Auto CAD一样。具体如何操作，你可以看看Pro-E的书。
赞一下 回复此楼
3楼2012-01-05 13:46:14
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lzb7758520

铁杆木虫 (著名写手)
引用回帖:
3楼: Originally posted by bingan727 at 2012-01-05 13:46:14:
你的图是Pro-E画的吗？ 如果是的话，基于你现有的三维图可以得到俯视图，侧视图和主视图，就跟Auto CAD一样。具体如何操作，你可以看看Pro-E的书。

不是，我是用3Dmax画的，
赞一下(1人) 回复此楼
梦想不能当饭吃啊
4楼2012-01-05 15:10:43
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