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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳器件 » 【求助】光刻板的问题
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taysani

金虫 (小有名气)

[交流] 【求助】光刻板的问题

我刚刚开始接触光刻。现在想定做一块光刻板，应该是光刻掩模板吧，就是光刻时覆盖在基体上的。我在网上查了一下关于光刻板的参数。网上说有G线，l线，有说光刻板材料分为钙钠玻璃和石英玻璃，还有什么铬板之类的。我问一下，这个光刻板的材料有什么讲究吗？不同材料的优缺点在哪里？还有就是什么是光刻板的最小线宽？是指图形边缘线的粗细吗？希望有能人详细的讲解一下关于光刻板的知识，不甚感激。
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1楼 2011-03-18 20:03:22
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dugu

木虫 (小有名气)
★ ★
xjajx(金币+2): 鼓励交流 2011-03-25 23:26:10
taysani(金币+5): 2011-04-01 09:22:38
楼主所说的，是光刻里最基础的知识。
光刻掩模板一般用石英玻璃作为基体，采用石英是由于其优良的近紫外透过率。
掩模板挡光部分用Cr，所以有时也叫铬板。
采用汞灯的g线或i线，取决于你所用的光刻胶，每种光刻胶产品说明都会列出其所敏感的光波段。
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3楼2011-03-25 22:35:19
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xnsytdl

铜虫 (正式写手)
★
xjajx(金币+1): 鼓励交流 2011-03-25 23:26:31
你可以问问中科院微纳研究所
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2楼2011-03-23 20:34:20
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yxznjust

禁虫 (初入文坛)
★ ★
xjajx(金币+2): 鼓励交流 2011-03-25 23:26:23
taysani(金币+5): 2011-04-01 09:22:32
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4楼2011-03-25 23:15:09
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kpliu1

新虫 (初入文坛)
掩模板一般就是在镀铬的石英基片上做图形，图形由透光（无铬）和不透光（有铬）区域组成，最小线宽就是掩模图形中最窄线条的宽度。我实验室可以制作图形面积不大于400mm2的掩模，收费比公司便宜得多哈。
联系电话：15108299816赵工  邮箱：zyy44138172@126.com
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6楼2011-03-30 22:10:08
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