应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

Znn3bq.jpeg
小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳器件 » 【求助】光刻板的问题
51/1返回列表
查看: 3620  |  回复: 9
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看
当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖

taysani

金虫 (小有名气)

[交流] 【求助】光刻板的问题

我刚刚开始接触光刻。现在想定做一块光刻板，应该是光刻掩模板吧，就是光刻时覆盖在基体上的。我在网上查了一下关于光刻板的参数。网上说有G线，l线，有说光刻板材料分为钙钠玻璃和石英玻璃，还有什么铬板之类的。我问一下，这个光刻板的材料有什么讲究吗？不同材料的优缺点在哪里？还有就是什么是光刻板的最小线宽？是指图形边缘线的粗细吗？希望有能人详细的讲解一下关于光刻板的知识，不甚感激。
回复此楼

» 收录本帖的淘帖专辑推荐

暗场

» 猜你喜欢

» 本主题相关商家推荐: (我也要在这里推广)

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:

» 抢金币啦！回帖就可以得到:

查看全部散金贴
1楼 2011-03-18 20:03:22
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

dugu

木虫 (小有名气)
★ ★
xjajx(金币+2): 鼓励交流 2011-03-25 23:26:10
taysani(金币+5): 2011-04-01 09:22:38
楼主所说的，是光刻里最基础的知识。
光刻掩模板一般用石英玻璃作为基体，采用石英是由于其优良的近紫外透过率。
掩模板挡光部分用Cr，所以有时也叫铬板。
采用汞灯的g线或i线，取决于你所用的光刻胶，每种光刻胶产品说明都会列出其所敏感的光波段。
赞一下(1人) 回复此楼
3楼2011-03-25 22:35:19
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 10 个回答

xnsytdl

铜虫 (正式写手)
★
xjajx(金币+1): 鼓励交流 2011-03-25 23:26:31
你可以问问中科院微纳研究所
赞一下(1人) 回复此楼
2楼2011-03-23 20:34:20
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

yxznjust

禁虫 (初入文坛)
★ ★
xjajx(金币+2): 鼓励交流 2011-03-25 23:26:23
taysani(金币+5): 2011-04-01 09:22:32
本帖内容被屏蔽
4楼2011-03-25 23:15:09
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

kpliu1

新虫 (初入文坛)
掩模板一般就是在镀铬的石英基片上做图形，图形由透光（无铬）和不透光（有铬）区域组成，最小线宽就是掩模图形中最窄线条的宽度。我实验室可以制作图形面积不大于400mm2的掩模，收费比公司便宜得多哈。
联系电话：15108299816赵工  邮箱：zyy44138172@126.com
赞一下 回复此楼
6楼2011-03-30 22:10:08
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 10 个回答
普通表情 龙 兔 虎 猫 高级回复 (可上传附件)
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭