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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 专业学科区 » 物理 » 紫外光刻掩膜板
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xiaowenzi2

铁杆木虫 (小有名气)

[求助] 紫外光刻掩膜板 已有1人参与

如题，有哪位懂的麻烦讲下紫外光刻掩膜板的要求，以及可以用作掩膜板的光学材料种类。
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1楼 2012-04-18 16:46:17
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李瑞琴专用

金虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

首先此材料要对紫外光是没吸收的，在可见光波段是没有荧光的。其次结构上要满足相位掩膜版的光栅结构条件。建议只用PDMS材料，先用普通的掩膜版制作光栅结构，然后在其上面图上PDMS的前驱物，加热固化即可。
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孜孜以求必有所获
6楼2014-04-22 09:43:47
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xiaowenzi2

铁杆木虫 (小有名气)
补充:是用于紫外光刻的相位掩膜板
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2楼2012-04-18 16:56:23
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lulinsmann

木虫 (著名写手)

三无小小鸟

【答案】应助回帖

★
感谢参与，应助指数 +1
xiaowenzi2: 金币+1 2012-04-18 22:50:31
不是太懂，不过一般的光刻掩膜似乎都是玻璃上镀铬的
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江湖背影
3楼2012-04-18 19:14:18
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xiaowenzi2

铁杆木虫 (小有名气)
谢谢参与哦，镀铬的是振幅型的，我现想了解下什么材料可以做相位型的
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4楼2012-04-18 22:50:06
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