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【求助】光刻用的掩模板怎么清洗？
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掩模板用了很久了， 表面脏了（残余光刻胶、灰尘、指纹之类的） 请问用什么清洗啊, IPO？丙酮？ |
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 光刻胶 | 硅片、玻璃片清洗，加工 | 制程设备维护保养 |
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25楼2014-07-08 21:02:01
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TZ-MWS-II掩膜版清洗机 掩膜清洗一般使用掩膜版清洗液，DI water冲洗， 放入掩膜板清洗机边冲洗边旋转，将污染颗粒冲洗干净。之后高速旋转甩干。 掩膜板清洗机可清洗3寸、4寸、5寸、6寸掩膜。 ToneZone mask掩膜板清洗机 配备有DI Water喷头、速度控制模块、远红外烘烤等。 http://www.tongzonemask.com/se.asp?nowmenuid=500077 |
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17楼2012-04-19 09:27:59
18楼2012-04-20 09:53:40
exciting1973 
禁虫 (正式写手)
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19楼2012-09-16 13:13:47
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