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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳器件 » 【求助】光刻用的掩模板怎么清洗？
北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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newbeefans

木虫 (正式写手)

[交流] 【求助】光刻用的掩模板怎么清洗？

掩模板用了很久了， 表面脏了（残余光刻胶、灰尘、指纹之类的）
请问用什么清洗啊, IPO？丙酮？
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1楼 2011-01-04 17:42:19
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回帖支持 ( 显示支持度最高的前 50 名 )

Mr.不太靠谱

银虫 (正式写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
用饱和的NaOH溶液浸泡5min, 用去离子水冲洗，然后用50%浓硫酸泡5min,用去离子水冲洗 氮气吹干  这是掩膜板厂家提供的清洗方法
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25楼2014-07-08 21:02:01
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普通回帖

dugu

木虫 (小有名气)
newbeefans(金币+10):thx 2011-01-10 16:37:44
丙酮+IPA 可以试试
不过很清洁的表面弄脏后很难清洗干净
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2楼2011-01-06 16:40:29
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woody5532

银虫 (初入文坛)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
处理起来很麻烦，我一般使用溶剂浸泡，超声振荡，但是效果也不是很好。。。
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3楼2011-03-31 08:53:16
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quanbaogang

木虫 (正式写手)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖
好像是用千分之三的氢氧化钾水溶液泡，同时用特别柔软的毛笔刷。这个办法比超声好很多。
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4楼2011-04-20 00:37:54
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pjx043

银虫 (小有名气)
★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖
金光闪闪2010(金币+1): 2011-11-19 09:02:52
我的掩膜板是微米级的，玻璃衬底，怎么清洗啊？ 会不会把掩膜条纹弄坏？
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5楼2011-11-19 01:08:17
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大水杯

木虫 (著名写手)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
5楼: Originally posted by pjx043 at 2011-11-19 01:08:17:
我的掩膜板是微米级的，玻璃衬底，怎么清洗啊？ 会不会把掩膜条纹弄坏？

我们一般用浸有丙酮的脱脂棉球轻轻擦拭，而后用氮气吹干
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6楼2011-11-20 19:23:41
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panpan2006

新虫 (初入文坛)
★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖
金光闪闪2010(金币+1): 2011-11-25 18:05:14
丙酮、乙醇、水冲洗最后甩干
其实有专门的洗版的机子
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7楼2011-11-25 14:58:13
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xiangmengli

金虫 (正式写手)
★
xjajx(金币+1): 2011-11-25 16:29:08
丙酮、吹干 乙醇吹干 去离子水吹干 即可
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8楼2011-11-25 15:23:08
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booam123

新虫 (初入文坛)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖
最简单的是用热丙酮烧80度。
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9楼2011-12-08 13:41:41
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booam123

新虫 (初入文坛)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖
或者1165 striper. 80度。
我也可以帮你代做如果有必要的话。
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10楼2011-12-08 13:44:02
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tongzone

新虫 (初入文坛)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖
TZ-MWS-II掩膜版清洗机

掩膜清洗一般使用掩膜版清洗液，DI water冲洗， 放入掩膜板清洗机边冲洗边旋转，将污染颗粒冲洗干净。之后高速旋转甩干。 掩膜板清洗机可清洗3寸、4寸、5寸、6寸掩膜。  
  ToneZone mask掩膜板清洗机 配备有DI Water喷头、速度控制模块、远红外烘烤等。
http://www.tongzonemask.com/se.asp?nowmenuid=500077
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11楼2011-12-11 20:01:58
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wangzhenwei

银虫 (正式写手)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖
丙酮就好了 慢慢来 一点一点就干净了 热点的丙酮更有效～
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12楼2011-12-21 16:02:22
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yangguang53

金虫 (小有名气)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖
掩模板上图案一般不容易被破坏，用丙酮清洗就好了
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13楼2011-12-22 21:57:35
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vidgay

金虫 (小有名气)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖
丙酮超声清洗，然后用酒精清洗，去离子水冲洗，而后氮吹，烘干。
一般掩模版用一段时间都需要按上述步骤清洗，这样才会避免永久损伤
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14楼2011-12-25 18:43:46
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haerbin06

铜虫 (小有名气)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖
acetone 5min; ipa 2min, water 2min; wihwithout any problem
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15楼2011-12-25 23:49:23
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alfie237319

金虫 (初入文坛)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖
先用丙酮超声清洗20分钟，氮气吹干，再用酒精超声20分钟即可
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16楼2012-02-21 09:27:05
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wangzhenwei

银虫 (正式写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
丙酮擦下 氮气吹干就好了
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17楼2012-04-19 09:27:59
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fznm1234

金虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
我最小尺寸步5um，我每次都是用擦镜纸擦。
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18楼2012-04-20 09:53:40
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exciting1973

禁虫 (正式写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
本帖内容被屏蔽
19楼2012-09-16 13:13:47
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yangzai132

金虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
丙酮超声清洗会把上面的膜一起振掉。。。
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20楼2012-11-13 16:07:11
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lvyiyilv

木虫 (职业作家)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
丙酮冲洗，不用水
然后放在无尘布上热板烘一下
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21楼2012-12-02 19:10:46
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mimzyvv

新虫 (初入文坛)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
想问下用丙酮超声的时候使用塑料盒子行不行，会不会被溶解呀？
还有如果用氢氧化钾溶液的话浓度一般用多少的呢？

[ Last edited by mimzyvv on 2013-3-13 at 19:48 ]
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22楼2013-03-13 19:43:42
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wjscl2009

新虫 (初入文坛)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
14楼: Originally posted by vidgay at 2011-12-25 18:43:46
丙酮超声清洗，然后用酒精清洗，去离子水冲洗，而后氮吹，烘干。
一般掩模版用一段时间都需要按上述步骤清洗，这样才会避免永久损伤

超声没有算坏掩膜板的条纹的危险吗？？
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23楼2014-02-15 19:16:07
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yuanxin5254

金虫 (正式写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
一般是这样的，用丙酮，酒精，超纯水
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24楼2014-04-17 13:01:51
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1171354327

新虫 (初入文坛)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
25楼: Originally posted by Mr.不太靠谱 at 2014-07-08 21:02:01
用饱和的NaOH溶液浸泡5min, 用去离子水冲洗，然后用50%浓硫酸泡5min,用去离子水冲洗 氮气吹干  这是掩膜板厂家提供的清洗方法

要是没有浓硫酸，能用其他的酸代替吗？
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26楼2018-01-16 19:56:08
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