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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 光学材料 » 【求助】光刻时显影不彻底
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xiangqy

铁虫 (小有名气)

[交流] 【求助】光刻时显影不彻底 已有5人参与

大家好，请问一下，光刻时（利用高压汞灯接触式曝光） 突然出现显影不彻底。而我以前按照这系参数都可以。光刻胶是新的，甩胶，烘烤的参数都没变。以前都好好的。最近老是出现显影不彻底。是什么原因呢？我个人是怀疑是光刻机上的汞灯功率变低了，有没有可能呢。谢谢！
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1楼 2010-11-25 20:22:21
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山大无边

金虫 (小有名气)
★ ★
小木虫:)(金币+2):3q 2010-12-09 01:29:53
调整一下显影液的比例
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在科研上奋斗
2楼2010-11-26 23:08:03
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godjyq

银虫 (小有名气)
★ ★ ★
小木虫:)(金币+3):3q 2010-12-09 01:30:06
不能忽视汞灯老化的问题。你光刻的时候不能光看汞灯的电功率，而要看他的光功率。建议每半个月测一下汞灯的实际光强，然后调节电功率，使实际光强保持稳定。

另外，接触式曝光的话，如果真空不好，也会降低曝光质量，影响显影。
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3楼2010-12-06 19:36:03
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匿名

★ ★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
小木虫:)(金币+2):3q 2010-12-09 01:30:13
本帖仅楼主可见
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4楼2010-12-06 19:37:46
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quanbaogang

木虫 (正式写手)
★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
小木虫:)(金币+8):3q 2010-12-09 01:30:28
一般而言，存在残胶是因为曝光剂量不足和/或者显影时间不够这两方面原因造成的。如果光刻胶厚度变了也可能影响图形结果，另外光刻胶在烘烤之后要及时曝光，否则会与空气中的二氧化碳反应形成一层保护膜，这样显影就受到阻碍，留下残胶也是可能的。

所以建议LZ可以测一下汞灯的光强，如果排除光强因素应该检查光刻胶的厚度。最好在涂胶后及时烘烤，在5分钟后及时曝光。

残胶的解决：用氧等离子体清洗；

避免残胶的办法（小窍门）：用超声显影代替普通显影。

祝你好运！
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5楼2010-12-06 20:00:34
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andarchan

金虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
263124楼: Originally posted by xiangqy at 2010-11-25 20:22:21:
大家好，请问一下，光刻时（利用高压汞灯接触式曝光） 突然出现显影不彻底。而我以前按照这系参数都可以。光刻胶是新的，甩胶，烘烤的参数都没变。以前都好好的。最近老是出现显影不彻底。是什么原因呢？我个人是 ...

楼主，是否可以上图呢？我最近也碰到这样的问题，我们工厂两三年了这问题？
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6楼2012-04-27 22:33:04
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andarchan

金虫 (小有名气)
前烘烘箱温度校核下？
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7楼2012-04-27 22:48:00
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