| 查看: 2505 | 回复: 6 | |||
[交流]
【求助】请问一下光刻胶是什么东西？成分是什么？
|
| 那位大牛知道是什么东西？ |
回复此楼» 猜你喜欢
学科生物354求调剂
已经有0人回复
-
大连工业大学 生物质能源与材料专业招收调剂生，有兴趣加联系：15732893021
已经有0人回复
-
生物物理、生物化学与分子生物学论文润色/翻译怎么收费?
已经有212人回复
-
生物光子学研究院/激光生命科学教育部重点实验室 研究生调剂
已经有0人回复
-
大连工业大学 生物质能源与材料专业招收调剂生，有兴趣加联系：15732893021
已经有0人回复
-
求调剂！生物与医药专硕
已经有5人回复
-
大连工业大学 生物质能源与材料专业招收调剂生，有兴趣加联系：15732893021
已经有0人回复
-
大连工业大学 生物质能源与材料专业招收调剂生，有兴趣将简历发送到507432328@qq.com
已经有0人回复
-
生物学308分求调剂（一志愿华东师大）
已经有7人回复
-
大连工业大学 生物质能源与材料专业招收调剂生，有兴趣将简历发送到507432328@qq.com
已经有0人回复
-
生物学308分求调剂（一志愿华东师大）
已经有10人回复
» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
- AZ 4620 光刻胶在常温下放久之后会影响些什么性能
已经有14人回复
- 请问因子分析的作用是什么？它与主成分分析图是否有相关性？
已经有4人回复
- 请教一个最基础的问题，大豆油等油类成分是什么？
已经有5人回复
- 如何知道制作的金属氧化物到底是什么成分呢
已经有10人回复
- 请问目前水稻育秧盘的主要成分是什么？
已经有3人回复
- 【求助】请问石油冶炼的废弃物是什么成分啊？
已经有10人回复
- 【求助】谁能帮我分析一下我的样品的XRD的峰是什么成分
已经有3人回复
- 【讨论】请问哪位前辈知道跳跳糖的主要成分是什么？
已经有6人回复
- 【求助/交流】讨论一下培养基成分与真菌形态的问题
已经有11人回复
» 抢金币啦！回帖就可以得到:
-
河北大学招收生物与医药专业调剂考生
+1/760
-
三峡大学材料与化工学院高分子化工新材料课题组现招收化学学术型硕士研究生2名。
+1/482
-
物理学 调剂
+1/91
-
华侨大学 材料专业 接收考研调剂
+1/88
-
尽全力让学生实现自己的梦想，让知识转化为自己发展的薪动能。
+1/84
-
延安大学接收化学与化工学院接收调剂生（化学、化工学硕和材料与化工专硕）
+2/66
-
三峡大学材化学院化工新材料课题组现招收化学或者化工、材料硕士研究生2名
+5/50
-
2026年河北大学材料与化工专业研究生（专硕）招收调剂生
+1/39
-
昆明理工大学余富朝团队2026年诚招有机化学/生物化学等方向“申请-审核”博士研究生
+1/39
-
湖北汽车工业学院接受硕士调剂！
+1/36
-
江西师大化学工程学院接收2026调剂生
+1/15
-
重庆工商大学 教育部研究中心招收化工/环境/材料/石油/机械方向2026年调剂研究生
+1/7
-
海南大学2026研究生调剂-海洋科学类、地质类、分析化学、环境类、生态学/生物学
+1/7
-
齐鲁工业大学 国家重点实验室-新能源、锂离子电池、材料、化学方向
+1/6
-
王金凤教授团队
+1/5
-
广州双一流大学08代码学硕接受调剂
+1/5
-
齐齐哈尔大学李莉课题组诚招2026级考研调剂生（学硕和专硕）
+1/4
-
北京高校副校长团队招收机械类，环境类学硕和专硕
+1/1
-
山东某双一流院校0857招收调剂
+1/1
-
硕士研究生调剂招生
+1/1
2楼2011-03-11 13:13:44
3楼2011-03-11 19:03:00
集成电路制作中光刻工艺的必需品
★
lixiangde(金币+1): 感谢回帖交流 2011-03-28 16:57:29
zhao9277(金币+1): 2011-03-29 15:52:44
zhao9277(金币+1): 2011-03-31 16:10:46
lixiangde(金币+1): 感谢回帖交流 2011-03-28 16:57:29
zhao9277(金币+1): 2011-03-29 15:52:44
zhao9277(金币+1): 2011-03-31 16:10:46
|
光刻工艺的进行必须借助光刻胶将印在掩膜上的图形结构转移到硅片表面上。光刻胶指光照后能具有抗蚀能力的高分子化合物，用于在半导体基件表面产生电路的形状。其配方通常是一个复杂的体系，主要包括感光物质（PAC）、树脂和一些其他利于使用的材料如稳定剂、阻聚剂、粘度控制剂、染料、增塑剂和化学增溶剂等。 通常我们把常用的光刻胶可分为正光刻胶和负光刻胶两种。①正光刻胶：受光照部分发生降解反应而能为显影液所溶解。留下的非曝光部分的图形与掩模版一致。②负光刻胶：受光照部分产生交链反应而成为不溶物，非曝光部分被显影液溶解，获得的图形与掩模版图形互补。正光刻胶具有分辨率高、对驻波效应不敏感、曝光容限大、针孔密度低和无毒性等优点，适合于高集成度器件的生产。负光刻胶的附着力强、灵敏度高、显影条件要求不严，适于低集成度的器件的生产。 在半导体产业中，正型光刻胶的销售额大概是负型光刻胶的100倍，这是因为正型光刻胶具有更高的分辨率，可以用于微小精细的电路，同时，正型光刻胶与等离子干法刻蚀技术的相容性也更好一些。 |
4楼2011-03-28 15:28:52
zhao9277(金币+2): 2011-03-31 16:10:40
|
光刻胶（又称光致抗蚀剂），是指通过紫外光、准分子激光、电子束、离子束、X射线等光源的照射或辐射，其溶解度发生变化的耐蚀刻薄膜材料。 根据曝光前后胶膜溶解性质的变化可分为正型光刻胶和负型光刻胶，曝光后溶解度增大的为正型光刻胶，溶解度减小的为负型光刻胶。光刻胶主要用于半导体集成电路和分立器件的微细加工，液晶显示面板的制作，同时在LED、封装、磁头及精密传感器等制作过程中也有着广泛的应用。由于光刻胶具有光化学敏感性，可利用其进行光化学反应，将光刻胶涂覆半导体、导体和绝缘体上，经曝光、显影后留下的部分对底层起保护作用，然后采用蚀刻剂进行蚀刻就可将所需的细微图形从掩模版转移到待加工的衬底上。因此光刻胶是微细加工技术中的关键性化工材料。 光刻胶是一种聚合可溶解物被涂在衬底表面。 正胶一般由感光剂、高分子化合物（通常用线型酚醛树脂）、溶剂为主要成分及为了改善胶的某一方面性能所加入的添加剂组成。 |
5楼2011-03-31 08:48:28
6楼2012-01-09 19:03:26
7楼2014-10-06 10:21:18
