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【求助】请问一下光刻胶是什么东西?成分是什么?
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zhao9277
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【求助】请问一下光刻胶是什么东西?成分是什么?
那位大牛知道是什么东西?
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2011-03-11 10:28:58
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woody5532
银虫
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zhao9277(金币+2): 2011-03-31 16:10:40
光刻胶(又称光致抗蚀剂),是指通过紫外光、准分子激光、电子束、离子束、X射线等光源的照射或辐射,其溶解度发生变化的耐蚀刻薄膜材料。
根据曝光前后胶膜溶解性质的变化可分为正型光刻胶和负型光刻胶,曝光后溶解度增大的为正型光刻胶,溶解度减小的为负型光刻胶。光刻胶主要用于半导体集成电路和分立器件的微细加工,液晶显示面板的制作,同时在LED、封装、磁头及精密传感器等制作过程中也有着广泛的应用。由于光刻胶具有光化学敏感性,可利用其进行光化学反应,将光刻胶涂覆半导体、导体和绝缘体上,经曝光、显影后留下的部分对底层起保护作用,然后采用蚀刻剂进行蚀刻就可将所需的细微图形从掩模版转移到待加工的衬底上。因此光刻胶是微细加工技术中的关键性化工材料。
光刻胶是一种聚合可溶解物被涂在衬底表面。
正胶一般由感光剂、高分子化合物(通常用线型酚醛树脂)、溶剂为主要成分及为了改善胶的某一方面性能所加入的添加剂组成。
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2011-03-31 08:48:28
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