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pjnhlh金虫 (初入文坛)
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AZ 4620 光刻胶在常温下放久之后会影响些什么性能
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rt 本人微纳加工新手，昨晚用 AZ 4620 做光刻，显影第一分钟出现大量小斑点，随着显影的进行，这些斑点又消失（洗掉）了。但后续（由于实验需要）将显影后的光刻胶加热到130°，100s，胶内部就出现气泡（数量和位置堪比先前的斑点）。 以往相同的加热条件下都没出现过这种情况，不知道是不是因为所用的光刻胶一直存放于室温所致（很小瓶的分装，所以没放冰箱），请大牛指教 显影液用的 AZ 400K 1:3 稀释 |
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2楼2012-03-08 15:17:13
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