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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » AZ 4620 光刻胶在常温下放久之后会影响些什么性能
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pjnhlh

金虫 (初入文坛)

[求助] AZ 4620 光刻胶在常温下放久之后会影响些什么性能

rt

本人微纳加工新手，昨晚用 AZ 4620 做光刻，显影第一分钟出现大量小斑点，随着显影的进行，这些斑点又消失（洗掉）了。但后续（由于实验需要）将显影后的光刻胶加热到130°，100s，胶内部就出现气泡（数量和位置堪比先前的斑点）。

以往相同的加热条件下都没出现过这种情况，不知道是不是因为所用的光刻胶一直存放于室温所致（很小瓶的分装，所以没放冰箱），请大牛指教

显影液用的 AZ 400K 1:3 稀释
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1楼2012-03-08 14:23:39
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回帖支持 ( 显示支持度最高的前 50 名 )

xmji

铁杆木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
胶放空气里，一般来说出溶剂会挥发点，粘稠度高些，不会造成你现在的情况。
不知道你的衬底是否干净
根据你的描述，是涂胶的时候存了气泡在膜里
一般在厚胶的情况下才会出现你说的情况
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2楼2012-03-08 15:17:13
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myIDname

木虫 (著名写手)

人民大会堂首席清洁工

【答案】应助回帖

★ ★
感谢参与，应助指数 +1
pjnhlh: 金币+2, ★★★很有帮助, 谢谢 2012-03-23 10:27:28
跟常温放置没什么关系，只要你是密封好的。

可能是衬底不干净，影响粘附性。因为烘烤时胶热膨胀，粘附性不好可能就从衬底上局部剥离，从而呈现出小斑点的样子。

可能是胶过期了；

可能是胶内有气泡，但是我到目前为止还没见过涂胶后看不见但是烘完能看见的情况；

可能是粘附增强剂（adhesion promoter）有问题，如果你用了的话；

要是灰尘的话，一般是涂胶后能看到的，并且不会是＂大量的＂。
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我们这里有勇敢的人民/荜路蓝缕以启山林/我们这里有无穷的生命/水牛稻米香蕉玉兰花
4楼2012-03-14 23:28:30
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yangguang53

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
显影后的光刻胶加热到130，显影后没必要加热的，平时把光刻胶放在0到10摄氏度的环境下比较好，用的时候还原到室温
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5楼2012-03-15 08:09:19
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c4myth

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
4楼: Originally posted by myIDname at 2012-03-14 23:28:30
跟常温放置没什么关系，只要你是密封好的。

可能是衬底不干净，影响粘附性。因为烘烤时胶热膨胀，粘附性不好可能就从衬底上局部剥离，从而呈现出小斑点的样子。

可能是胶过期了；

可能是胶内有气泡，但是我 ...

az4620 一般用什么粘附增强剂（adhesion promoter）啊？ 能否告知名字型号~
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12楼2013-06-24 20:15:11
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普通回帖

pjnhlh

金虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by xmji at 2012-03-08 15:17:13:
胶放空气里，一般来说出溶剂会挥发点，粘稠度高些，不会造成你现在的情况。
不知道你的衬底是否干净
根据你的描述，是涂胶的时候存了气泡在膜里
一般在厚胶的情况下才会出现你说的情况

确实是厚胶涂覆，
烘干玻片的时候可能不经意掉了两粒灰尘在涂覆面上，
不确定这种气泡现象是由于灰尘引起还是光刻胶本身所引起。

谢谢你的回帖
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3楼2012-03-08 15:34:29
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pjnhlh

金虫 (初入文坛)
引用回帖:
4楼: Originally posted by myIDname at 2012-03-14 23:28:30:
跟常温放置没什么关系，只要你是密封好的。

可能是衬底不干净，影响粘附性。因为烘烤时胶热膨胀，粘附性不好可能就从衬底上局部剥离，从而呈现出小斑点的样子。

可能是胶过期了；

可能是胶内有气泡，但是 ...

谢谢回帖！

初步推断，
衬底不干净是一种可能；
另外还可能是光刻胶残留的一些溶剂在高温下形成气泡；

有待进一步验证

再次感谢！
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6楼2012-03-16 11:19:21
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pjnhlh

金虫 (初入文坛)
引用回帖:
5楼: Originally posted by yangguang53 at 2012-03-15 08:09:19:
显影后的光刻胶加热到130，显影后没必要加热的，平时把光刻胶放在0到10摄氏度的环境下比较好，用的时候还原到室温

显影加热是实验的必要步骤，呵呵

谢谢回帖
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7楼2012-03-16 11:20:10
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潍坊星泰克

铜虫 (初入文坛)

  现在都用高硅光刻胶了 这些问题都已不是问题了  你可以试试看
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8楼2012-04-01 10:29:40
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潍坊星泰克

铜虫 (初入文坛)

  谁知道哪有用光刻胶的。。。。。。。。有的联系我 0536-8888988     
毛晓文 谢谢
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9楼2012-04-01 16:25:05
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hongtaofen

铜虫 (初入文坛)
我也是一样的实验现象，另一个其他中心的也是遇到相同问题。
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10楼2012-09-07 13:23:03
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