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【求助】光刻时显影不彻底 已有5人参与
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| 大家好，请问一下，光刻时（利用高压汞灯接触式曝光） 突然出现显影不彻底。而我以前按照这系参数都可以。光刻胶是新的，甩胶，烘烤的参数都没变。以前都好好的。最近老是出现显影不彻底。是什么原因呢？我个人是怀疑是光刻机上的汞灯功率变低了，有没有可能呢。谢谢！ |
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 实验们 |
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