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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳器件 » 【求助】光刻用的掩模板怎么清洗？
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newbeefans

木虫 (正式写手)

[交流] 【求助】光刻用的掩模板怎么清洗？

掩模板用了很久了， 表面脏了（残余光刻胶、灰尘、指纹之类的）
请问用什么清洗啊, IPO？丙酮？
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1楼 2011-01-04 17:42:19
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mimzyvv

新虫 (初入文坛)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
想问下用丙酮超声的时候使用塑料盒子行不行，会不会被溶解呀？
还有如果用氢氧化钾溶液的话浓度一般用多少的呢？

[ Last edited by mimzyvv on 2013-3-13 at 19:48 ]
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22楼2013-03-13 19:43:42
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