| 查看: 1461 | 回复: 5 | ||||
SleepTooLong银虫 (小有名气)
|
[交流]
光刻胶涂布过程中使用的cup清洗剂指什么？ 已有1人参与
|
| 如题，除了有EBR清洗剂，背面清洗剂外还有cup清洗剂，cup清洗剂具体指什么？有什么作用？谢谢。 |
回复此楼» 收录本帖的淘帖专辑推荐
 yswyx的关于光刻的各种回复 |
» 猜你喜欢
0856材料306分调剂
已经有4人回复
-
北京航空航天大学26级博士招生-生物医学工程-合成生物学
已经有19人回复
-
无机化学论文润色/翻译怎么收费?
已经有88人回复
-
温州大学王娟课题组2026年招生
已经有10人回复
-
温州大学2026年招生（化学、材料）
已经有10人回复
-
招生负责_院士团队_学生高自由度成长_擅长学生培养
已经有5人回复
-
温州大学招收2026年入学博士研究生（化学、材料、环境）
已经有10人回复
-
非晶合金
已经有2人回复
yswyx 
专家顾问 (著名写手)
-
专家经验: +651 - MN-EPI: 8
- 应助: 807 (博后)
- 贵宾: 0.204
- 金币: 2618.1
- 散金: 6018
- 红花: 112
- 帖子: 2705
- 在线: 577.8小时
- 虫号: 446878
- 注册: 2007-10-30
- 性别: GG
- 专业: 半导体微纳机电器件与系统
- 管辖: 微米和纳米
★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
yanhualover: 金币+1, 精彩回复，值得鼓励。 2013-02-25 20:30:22
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
yanhualover: 金币+1, 精彩回复，值得鼓励。 2013-02-25 20:30:22
|
cup就是涂胶设备中，那个塑料的碗，小设备的话就是金属的。涂完胶，这个碗就被粘的到处都是胶，时间长了会固化，就很难洗掉了。所以平常要定期清洗cup，就需要清洗剂。 对于大部分胶来说，EBR和背面清洗剂和Cup清洗剂是可以混用的，很多时候为了节省成本，cup清洗机会用最便宜的产品。 |
» 本帖已获得的红花（最新10朵）
SleepTooLong2楼2013-01-09 14:46:01
SleepTooLong
银虫 (小有名气)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 499.1
- 帖子: 207
- 在线: 132小时
- 虫号: 2212332
- 注册: 2012-12-29
- 性别: GG
- 专业: 非线性光学与量子光学
3楼2013-01-10 11:09:09
yswyx
专家顾问 (著名写手)
-
专家经验: +651 - MN-EPI: 8
- 应助: 807 (博后)
- 贵宾: 0.204
- 金币: 2618.1
- 散金: 6018
- 红花: 112
- 帖子: 2705
- 在线: 577.8小时
- 虫号: 446878
- 注册: 2007-10-30
- 性别: GG
- 专业: 半导体微纳机电器件与系统
- 管辖: 微米和纳米
4楼2013-01-10 22:06:38
SleepTooLong
银虫 (小有名气)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 499.1
- 帖子: 207
- 在线: 132小时
- 虫号: 2212332
- 注册: 2012-12-29
- 性别: GG
- 专业: 非线性光学与量子光学
5楼2013-01-11 10:16:31
yswyx
专家顾问 (著名写手)
-
专家经验: +651 - MN-EPI: 8
- 应助: 807 (博后)
- 贵宾: 0.204
- 金币: 2618.1
- 散金: 6018
- 红花: 112
- 帖子: 2705
- 在线: 577.8小时
- 虫号: 446878
- 注册: 2007-10-30
- 性别: GG
- 专业: 半导体微纳机电器件与系统
- 管辖: 微米和纳米
6楼2013-01-11 22:39:26
