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SleepTooLong银虫 (小有名气)
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[交流]
光刻胶涂布过程中使用的cup清洗剂指什么？ 已有1人参与
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| 如题，除了有EBR清洗剂，背面清洗剂外还有cup清洗剂，cup清洗剂具体指什么？有什么作用？谢谢。 |
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 yswyx的关于光刻的各种回复 |
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cup就是涂胶设备中，那个塑料的碗，小设备的话就是金属的。涂完胶，这个碗就被粘的到处都是胶，时间长了会固化，就很难洗掉了。所以平常要定期清洗cup，就需要清洗剂。 对于大部分胶来说，EBR和背面清洗剂和Cup清洗剂是可以混用的，很多时候为了节省成本，cup清洗机会用最便宜的产品。 |
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SleepTooLong2楼2013-01-09 14:46:01
SleepTooLong
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