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SleepTooLong

银虫 (小有名气)

[交流] 光刻胶涂布过程中使用的cup清洗剂指什么?已有1人参与

如题,除了有EBR清洗剂,背面清洗剂外还有cup清洗剂,cup清洗剂具体指什么?有什么作用?谢谢。
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yswyx

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引用回帖:
5楼: Originally posted by SleepTooLong at 2013-01-11 10:16:31
南通富士通,刚进不久。...

呵呵,加油!
6楼2013-01-11 22:39:26
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yswyx

专家顾问 (著名写手)


★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
yanhualover: 金币+1, 精彩回复,值得鼓励。 2013-02-25 20:30:22
cup就是涂胶设备中,那个塑料的碗,小设备的话就是金属的。涂完胶,这个碗就被粘的到处都是胶,时间长了会固化,就很难洗掉了。所以平常要定期清洗cup,就需要清洗剂。
对于大部分胶来说,EBR和背面清洗剂和Cup清洗剂是可以混用的,很多时候为了节省成本,cup清洗机会用最便宜的产品。

» 本帖已获得的红花(最新10朵)

2楼2013-01-09 14:46:01
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SleepTooLong

银虫 (小有名气)

送鲜花一朵
引用回帖:
2楼: Originally posted by yswyx at 2013-01-09 14:46:01
cup就是涂胶设备中,那个塑料的碗,小设备的话就是金属的。涂完胶,这个碗就被粘的到处都是胶,时间长了会固化,就很难洗掉了。所以平常要定期清洗cup,就需要清洗剂。
对于大部分胶来说,EBR和背面清洗剂和Cup清洗 ...

嗯,我知道了,我刚进入WLP这个行业,有很多东西不知道,谢谢前辈的解答。
3楼2013-01-10 11:09:09
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yswyx

专家顾问 (著名写手)



小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
引用回帖:
3楼: Originally posted by SleepTooLong at 2013-01-10 11:09:09
嗯,我知道了,我刚进入WLP这个行业,有很多东西不知道,谢谢前辈的解答。...

WLP?什么单位?
4楼2013-01-10 22:06:38
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