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木冰

铜虫 (小有名气)


[交流] 【求助】关于光刻匀胶烤胶设备及光刻胶的选择

405nm光刻时用什么样的光刻胶(正胶)比较好?说下理由,另外是不是必须买齐滴胶机,匀胶机,热板呢?热板和烤胶机是一个东西吗?另外希望问下买匀胶机要注意什么?哪几种品牌比较好?谢谢!
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senpeng

铜虫 (小有名气)


滴胶机不需要吧,直接滴管滴就可以了;热板都不需要,一般实验室都有烘箱的
2楼2011-01-18 22:09:50
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dugu

木虫 (小有名气)


楼主问的太泛了
用正胶还是负胶,取决于你的掩模板,掩模板做好后,只能选用特定的光刻胶
正胶和负胶理论上都可以,要求较高的话,可以查下产品说明
匀胶机是必须的,光刻胶得保证厚度和平整性,这个好多产品,不用很先进,能稳定地转就可以了
用热板烘烤会很方便,如果没有,炉子也能凑乎用,能控好温度和时间就行
3楼2011-01-19 12:05:41
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woody5532

银虫 (初入文坛)


我们买的烘胶台,感觉受热比较均匀操作比较方便,烘箱感觉用着不精确
4楼2011-03-31 08:56:54
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gongyong1214

新虫 (初入文坛)



小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
现在的光刻工艺上匀胶机最好性能稳定一点,可重复性、均匀性要好,烤胶机的话受热要均匀。
5楼2014-04-01 14:44:57
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