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【求助】关于光刻匀胶烤胶设备及光刻胶的选择
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木冰
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[交流]
【求助】关于光刻匀胶烤胶设备及光刻胶的选择
405nm光刻时用什么样的光刻胶(正胶)比较好?说下理由,另外是不是必须买齐滴胶机,匀胶机,热板呢?热板和烤胶机是一个东西吗?另外希望问下买匀胶机要注意什么?哪几种品牌比较好?谢谢!
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2010-12-13 12:12:27
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senpeng
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虫号: 443434
滴胶机不需要吧,直接滴管滴就可以了;热板都不需要,一般实验室都有烘箱的
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2楼
2011-01-18 22:09:50
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dugu
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楼主问的太泛了
用正胶还是负胶,取决于你的掩模板,掩模板做好后,只能选用特定的光刻胶
正胶和负胶理论上都可以,要求较高的话,可以查下产品说明
匀胶机是必须的,光刻胶得保证厚度和平整性,这个好多产品,不用很先进,能稳定地转就可以了
用热板烘烤会很方便,如果没有,炉子也能凑乎用,能控好温度和时间就行
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3楼
2011-01-19 12:05:41
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woody5532
银虫
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我们买的烘胶台,感觉受热比较均匀操作比较方便,烘箱感觉用着不精确
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4楼
2011-03-31 08:56:54
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gongyong1214
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★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
现在的光刻工艺上匀胶机最好性能稳定一点,可重复性、均匀性要好,烤胶机的话受热要均匀。
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5楼
2014-04-01 14:44:57
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