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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 光刻胶上面的杂点是什么东西
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ZYQZPF

铜虫 (小有名气)

[交流] 光刻胶上面的杂点是什么东西 已有12人参与

刚做了光刻胶的旋涂，在光学显微镜下观察到的图像是这样的，想知道其中的点是什么东西。是气泡还是杂质？如果是气泡该怎么解决呢？正常的光刻胶涂好之后的图像该是什么样子的呢？

光刻胶上面的杂点是什么东西
1.PNG


光刻胶上面的杂点是什么东西-1
2.PNG


光刻胶上面的杂点是什么东西-2
3.PNG
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comeon
1楼 2014-03-27 19:01:49
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回帖支持 ( 显示支持度最高的前 50 名 )

286228472

铁虫 (初入文坛)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
感觉大部分是样品表面的问题，一些是气泡，气泡的话 就是倒的时候轻轻倒，不要带入气泡了，靠手感
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3楼2014-03-28 08:30:12
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普通回帖

metaliium

银虫 (正式写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
不做光刻，但是你这个看上去像是没洗干净，或者样品表面非常不平。。。
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2楼2014-03-28 07:29:38
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gxytju2008

专家顾问 (文坛精英)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
感觉像气泡，可以做个SEM确认一下，不过第二个咋感觉这么脏呢，洁净室注意净度哈
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4楼2014-03-28 09:39:15
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reninhat

铁杆木虫 (正式写手)
洁净间太脏了
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5楼2014-03-28 10:30:16
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ZYQZPF

铜虫 (小有名气)
引用回帖:
3楼: Originally posted by 286228472 at 2014-03-28 08:30:12
感觉大部分是样品表面的问题，一些是气泡，气泡的话 就是倒的时候轻轻倒，不要带入气泡了，靠手感

感觉滴的时候能看到有一些小气泡，试过好几次，有没有什么好的办法？

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comeon
6楼2014-03-29 14:05:24
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ZYQZPF

铜虫 (小有名气)
引用回帖:
5楼: Originally posted by reninhat at 2014-03-28 10:30:16
洁净间太脏了

会不会是胶里面本身不干净，滴管什么的把灰尘带进去了？

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comeon
7楼2014-03-29 14:06:42
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ZYQZPF

铜虫 (小有名气)
引用回帖:
4楼: Originally posted by gxytju2008 at 2014-03-28 09:39:15
感觉像气泡，可以做个SEM确认一下，不过第二个咋感觉这么脏呢，洁净室注意净度哈

第二个转速最高，大概4000转/分钟，可能是由于片子表面不干净，在胶比较薄的情况下明显一些

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comeon
8楼2014-03-29 14:08:02
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gxytju2008

专家顾问 (文坛精英)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
8楼: Originally posted by ZYQZPF at 2014-03-29 14:08:02
第二个转速最高，大概4000转/分钟，可能是由于片子表面不干净，在胶比较薄的情况下明显一些
...

额。。这么脏的片子基本没办法用了啊，·增加预处理吧，要不就买免洗的
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9楼2014-03-29 16:49:47
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千年积雪

新虫 (初入文坛)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
个人感觉是杂质。气泡不会异形。可能性应该是胶的问题

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10楼2014-03-29 16:56:48
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