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北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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ZYQZPF

铜虫 (小有名气)

[交流] 光刻胶上面的杂点是什么东西 已有12人参与

刚做了光刻胶的旋涂,在光学显微镜下观察到的图像是这样的,想知道其中的点是什么东西。是气泡还是杂质?如果是气泡该怎么解决呢?正常的光刻胶涂好之后的图像该是什么样子的呢?

光刻胶上面的杂点是什么东西
1.PNG


光刻胶上面的杂点是什么东西-1
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光刻胶上面的杂点是什么东西-2
3.PNG
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comeon
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千年积雪

新虫 (初入文坛)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
个人感觉是杂质。气泡不会异形。可能性应该是胶的问题

[ 发自小木虫客户端 ]
10楼2014-03-29 16:56:48
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metaliium

银虫 (正式写手)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
不做光刻,但是你这个看上去像是没洗干净,或者样品表面非常不平。。。
2楼2014-03-28 07:29:38
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286228472

铁虫 (初入文坛)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
感觉大部分是样品表面的问题,一些是气泡,气泡的话 就是倒的时候轻轻倒,不要带入气泡了,靠手感
3楼2014-03-28 08:30:12
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gxytju2008

专家顾问 (文坛精英)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
感觉像气泡,可以做个SEM确认一下,不过第二个咋感觉这么脏呢,洁净室注意净度哈
4楼2014-03-28 09:39:15
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