24小时热门版块排行榜    

查看: 3719  |  回复: 19

ZYQZPF

铜虫 (小有名气)

[交流] 光刻胶上面的杂点是什么东西 已有12人参与

刚做了光刻胶的旋涂,在光学显微镜下观察到的图像是这样的,想知道其中的点是什么东西。是气泡还是杂质?如果是气泡该怎么解决呢?正常的光刻胶涂好之后的图像该是什么样子的呢?

光刻胶上面的杂点是什么东西
1.PNG


光刻胶上面的杂点是什么东西-1
2.PNG


光刻胶上面的杂点是什么东西-2
3.PNG
回复此楼
comeon
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
回帖支持 ( 显示支持度最高的前 50 名 )

286228472

铁虫 (初入文坛)

★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
感觉大部分是样品表面的问题,一些是气泡,气泡的话 就是倒的时候轻轻倒,不要带入气泡了,靠手感
3楼2014-03-28 08:30:12
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
普通回帖

metaliium

银虫 (正式写手)

★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
不做光刻,但是你这个看上去像是没洗干净,或者样品表面非常不平。。。
2楼2014-03-28 07:29:38
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

gxytju2008

专家顾问 (文坛精英)

★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
感觉像气泡,可以做个SEM确认一下,不过第二个咋感觉这么脏呢,洁净室注意净度哈
4楼2014-03-28 09:39:15
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

reninhat

铁杆木虫 (正式写手)

洁净间太脏了
5楼2014-03-28 10:30:16
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

ZYQZPF

铜虫 (小有名气)

引用回帖:
3楼: Originally posted by 286228472 at 2014-03-28 08:30:12
感觉大部分是样品表面的问题,一些是气泡,气泡的话 就是倒的时候轻轻倒,不要带入气泡了,靠手感

感觉滴的时候能看到有一些小气泡,试过好几次,有没有什么好的办法?

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
comeon
6楼2014-03-29 14:05:24
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

ZYQZPF

铜虫 (小有名气)

引用回帖:
5楼: Originally posted by reninhat at 2014-03-28 10:30:16
洁净间太脏了

会不会是胶里面本身不干净,滴管什么的把灰尘带进去了?

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
comeon
7楼2014-03-29 14:06:42
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

ZYQZPF

铜虫 (小有名气)

引用回帖:
4楼: Originally posted by gxytju2008 at 2014-03-28 09:39:15
感觉像气泡,可以做个SEM确认一下,不过第二个咋感觉这么脏呢,洁净室注意净度哈

第二个转速最高,大概4000转/分钟,可能是由于片子表面不干净,在胶比较薄的情况下明显一些

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
comeon
8楼2014-03-29 14:08:02
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

gxytju2008

专家顾问 (文坛精英)

★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
引用回帖:
8楼: Originally posted by ZYQZPF at 2014-03-29 14:08:02
第二个转速最高,大概4000转/分钟,可能是由于片子表面不干净,在胶比较薄的情况下明显一些
...

额。。这么脏的片子基本没办法用了啊,·增加预处理吧,要不就买免洗的
9楼2014-03-29 16:49:47
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

千年积雪

新虫 (初入文坛)

★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
个人感觉是杂质。气泡不会异形。可能性应该是胶的问题

[ 发自小木虫客户端 ]
10楼2014-03-29 16:56:48
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 ZYQZPF 的主题更新
普通表情 龙 兔 虎 猫 高级回复 (可上传附件)
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[职场人生] 40+中年人失业后,还能找到好工作吗? +10 xqy2009 2026-10-13 12/600 2026-10-15 19:24 by lpwang
[有机交流] 用NBS溴化时溶剂除了CCl4外还有什么 +3 18834002860 2026-10-12 6/300 2026-10-15 14:30 by 长沙摩尔信息科�
[基金申请] 申请科研项目纯靠实力能成功吗? 200+7 David1982 2026-10-13 11/550 2026-10-15 10:30 by zyqchem
[硕博家园] 极限拉扯,如何抉择 +11 Isak0320 2026-10-12 15/750 2026-10-14 21:55 by 猫鱼不是鱼
[论文投稿] 二审4个多月了还是Awaiting Reviewer Scores 10+3 纳斯达克ML 2026-10-11 4/200 2026-10-14 17:30 by babero
[有机交流] OpenAI又攻克数学难题了,离AI做有机合成还有多远? +8 wangyl_123 2026-10-10 13/650 2026-10-14 15:12 by zuesli
[教师之家] 课题组会帮你通过考核么? +4 好运来~9527 2026-10-10 7/350 2026-10-13 08:41 by xli1984
[公派出国] 售一区SCI文章T0P,我:8O.551.O54,科目全,可十急 +5 qR2AdCWTVtkw 2026-10-09 9/450 2026-10-11 22:34 by XQNyDCa1Tk5n
[公派出国] 售SCI一区文章,我:8O5.5.1.O5.4,科目全,可伽急 +5 qR2AdCWTVtkw 2026-10-09 10/500 2026-10-11 22:26 by XQNyDCa1Tk5n
[找工作] 售SCI一区T0P文章,我:8.O55.1.O.54,科目全,可十急 +5 qR2AdCWTVtkw 2026-10-09 8/400 2026-10-11 22:26 by XQNyDCa1Tk5n
[考博] 售SCI一区T0P文章,我:8.O55.1.O.54,科目全,可十急 +5 qR2AdCWTVtkw 2026-10-09 9/450 2026-10-11 22:15 by XQNyDCa1Tk5n
[考博] 售SCI一区文章,我:8.O.55.1.O.54,科目齐全,可伽急 +3 qR2AdCWTVtkw 2026-10-09 7/350 2026-10-11 22:11 by XQNyDCa1Tk5n
[教师之家] 售SCI文章,我:8O5.5.1.O.54,科目齐全,可+急 (EPI+-1)(金币-50) +5 qR2AdCWTVtkw 2026-10-09 10/500 2026-10-11 22:06 by XQNyDCa1Tk5n
[教师之家] 售SCI一区T0P文章,我:8.O.55.1.O.5.4,科目全,可+急 (EPI+-1)(金币-50) +5 qR2AdCWTVtkw 2026-10-09 10/500 2026-10-11 14:25 by VOMexwnDzOFZ
[考研] 售SCI文章,我:8O.5.5.1O.54,科目全,可十急 +5 qR2AdCWTVtkw 2026-10-09 8/400 2026-10-11 13:51 by VOMexwnDzOFZ
[硕博家园] 售SCI-T0P文章,我:8O.5.5.1.O.54,科目齐全,可+急 +5 qR2AdCWTVtkw 2026-10-09 8/400 2026-10-11 13:45 by VOMexwnDzOFZ
[找工作] 售SCI一区T0P文章,我:8O.55.1.O.5.4,科目齐全,可+急 +3 qR2AdCWTVtkw 2026-10-09 7/350 2026-10-11 10:54 by VOMexwnDzOFZ
[找工作] 售SCI一区T0P文章,我:8O.55.1.O.5.4,科目齐全,可+急 +4 qR2AdCWTVtkw 2026-10-09 7/350 2026-10-11 10:34 by VOMexwnDzOFZ
[考博] 招收博士生一名 +3 mandolin 2026-10-10 3/150 2026-10-11 10:21 by 不是山谷!
[公派出国] 售SCI一区T0P文章,我:8O.55.1.O.54,科目全,可伽急 +4 qR2AdCWTVtkw 2026-10-09 4/200 2026-10-11 03:14 by M0zrYVSAnxpE
信息提示
请填处理意见