应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 光刻胶上面的杂点是什么东西
北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
201/2返回列表12下一页
查看: 3231  |  回复: 19
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看

ZYQZPF

铜虫 (小有名气)

[交流] 光刻胶上面的杂点是什么东西 已有12人参与

刚做了光刻胶的旋涂，在光学显微镜下观察到的图像是这样的，想知道其中的点是什么东西。是气泡还是杂质？如果是气泡该怎么解决呢？正常的光刻胶涂好之后的图像该是什么样子的呢？

光刻胶上面的杂点是什么东西
1.PNG


光刻胶上面的杂点是什么东西-1
2.PNG


光刻胶上面的杂点是什么东西-2
3.PNG
回复此楼

» 收录本帖的淘帖专辑推荐

实验们

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
comeon
1楼 2014-03-27 19:01:49
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
回帖支持 ( 显示支持度最高的前 50 名 )

286228472

铁虫 (初入文坛)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
感觉大部分是样品表面的问题，一些是气泡，气泡的话 就是倒的时候轻轻倒，不要带入气泡了，靠手感
赞一下(1人) 回复此楼
3楼2014-03-28 08:30:12
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
普通回帖

metaliium

银虫 (正式写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
不做光刻，但是你这个看上去像是没洗干净，或者样品表面非常不平。。。
赞一下 回复此楼
2楼2014-03-28 07:29:38
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

gxytju2008

专家顾问 (文坛精英)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
感觉像气泡，可以做个SEM确认一下，不过第二个咋感觉这么脏呢，洁净室注意净度哈
赞一下 回复此楼
4楼2014-03-28 09:39:15
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

reninhat

铁杆木虫 (正式写手)
洁净间太脏了
回复此楼
5楼2014-03-28 10:30:16
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

ZYQZPF

铜虫 (小有名气)
引用回帖:
3楼: Originally posted by 286228472 at 2014-03-28 08:30:12
感觉大部分是样品表面的问题，一些是气泡，气泡的话 就是倒的时候轻轻倒，不要带入气泡了，靠手感

感觉滴的时候能看到有一些小气泡，试过好几次，有没有什么好的办法？

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
赞一下 回复此楼
comeon
6楼2014-03-29 14:05:24
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

ZYQZPF

铜虫 (小有名气)
引用回帖:
5楼: Originally posted by reninhat at 2014-03-28 10:30:16
洁净间太脏了

会不会是胶里面本身不干净，滴管什么的把灰尘带进去了？

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
赞一下 回复此楼
comeon
7楼2014-03-29 14:06:42
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

ZYQZPF

铜虫 (小有名气)
引用回帖:
4楼: Originally posted by gxytju2008 at 2014-03-28 09:39:15
感觉像气泡，可以做个SEM确认一下，不过第二个咋感觉这么脏呢，洁净室注意净度哈

第二个转速最高，大概4000转/分钟，可能是由于片子表面不干净，在胶比较薄的情况下明显一些

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
赞一下 回复此楼
comeon
8楼2014-03-29 14:08:02
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

gxytju2008

专家顾问 (文坛精英)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
8楼: Originally posted by ZYQZPF at 2014-03-29 14:08:02
第二个转速最高，大概4000转/分钟，可能是由于片子表面不干净，在胶比较薄的情况下明显一些
...

额。。这么脏的片子基本没办法用了啊，·增加预处理吧，要不就买免洗的
赞一下 回复此楼
9楼2014-03-29 16:49:47
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

千年积雪

新虫 (初入文坛)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
个人感觉是杂质。气泡不会异形。可能性应该是胶的问题

[ 发自小木虫客户端 ]
赞一下 回复此楼
10楼2014-03-29 16:56:48
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 ZYQZPF 的主题更新
201/2返回列表12下一页
普通表情 龙 兔 虎 猫 高级回复 (可上传附件)
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 085600 材料与化工 329分求调剂 +10 Mr. Z 2026-03-25 10/500 2026-03-29 00:34 by 我是小康
[考研] 298求调剂 +3 种圣赐 2026-03-28 3/150 2026-03-28 23:58 by wxiongid
[考研] 070305高分子化学与物理 304分求调剂 +6 c297914 2026-03-28 6/300 2026-03-28 22:34 by muchong357
[考研] 283求调剂 +3 A child 2026-03-28 3/150 2026-03-28 15:41 by ms629
[考研] 311求调剂 +9 lin0039 2026-03-26 9/450 2026-03-28 13:05 by 唐沐儿
[考研] 一志愿南京航空航天大学材料学硕求调剂 +3 @taotao 2026-03-28 3/150 2026-03-28 10:26 by JourneyLucky
[考研] 求调剂推荐 材料 304 +15 荷包蛋hyj 2026-03-26 15/750 2026-03-28 04:13 by fmesaito
[考研] 331环境科学与工程求调剂 +3 熠然好运气 2026-03-27 3/150 2026-03-28 04:11 by fmesaito
[考研] 315分求调剂 +7 26考研上岸版26 2026-03-26 7/350 2026-03-28 04:05 by fmesaito
[考研] 085600材料与化工调剂 +10 A-哆啦Z梦 2026-03-23 16/800 2026-03-27 15:13 by caszguilin
[考研] 材料学硕，求调剂 6+5 糖葫芦888ll 2026-03-22 10/500 2026-03-27 08:18 by hypershenger
[考研] 321求调剂 +6 wasdssaa 2026-03-26 6/300 2026-03-26 20:57 by sanrepian
[考研] 打过很多竞赛，085406控制工程300分，求调剂 +3 askeladz 2026-03-26 3/150 2026-03-26 09:08 by 给你你注意休息
[考研] 材料专硕 335 分求调剂 +4 拒绝冷暴力 2026-03-25 4/200 2026-03-25 18:45 by haxia
[考研] 26考研-291分-厦门大学（085601）-柔性电子学院材料工程专业求调剂 +3 min3 2026-03-24 4/200 2026-03-25 18:22 by xcjcqu
[考研] 347求调剂 +4 L when 2026-03-25 4/200 2026-03-25 13:37 by cocolv
[考研] 293求调剂 +7 加一一九 2026-03-24 7/350 2026-03-25 12:02 by userper
[考研] 材料考研调剂生 +3 黄粱一梦千年 2026-03-24 3/150 2026-03-24 17:00 by barlinike
[考研] 材料专硕331求调剂 +4 鲜当牛 2026-03-24 4/200 2026-03-24 15:58 by JourneyLucky
[考博] 26申博自荐 +3 whh869393 2026-03-24 3/150 2026-03-24 09:55 by 21018060
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭