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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 光刻胶上面的杂点是什么东西
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ZYQZPF

铜虫 (小有名气)
引用回帖:
9楼: Originally posted by gxytju2008 at 2014-03-29 16:49:47
额。。这么脏的片子基本没办法用了啊，·增加预处理吧，要不就买免洗的...

我一般都是用丙酮超声再用乙醇超声最后用去离子水 超声三分钟，氮气吹干就行了
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comeon
11楼2014-04-02 16:30:07
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ZYQZPF

铜虫 (小有名气)
引用回帖:
10楼: Originally posted by 千年积雪 at 2014-03-29 16:56:48
个人感觉是杂质。气泡不会异形。可能性应该是胶的问题

如果是胶脏的，只能换胶了吧？
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comeon
12楼2014-04-02 16:30:35
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gxytju2008

专家顾问 (文坛精英)
★
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引用回帖:
11楼: Originally posted by ZYQZPF at 2014-04-02 16:30:07
我一般都是用丙酮超声再用乙醇超声最后用去离子水 超声三分钟，氮气吹干就行了...

有的东西是洗不掉的。。注意片子来源还有小心处理不要污染最重要
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13楼2014-04-02 16:32:37
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yswyx

专家顾问 (著名写手)
★
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6楼: Originally posted by ZYQZPF at 2014-03-29 14:05:24
感觉滴的时候能看到有一些小气泡，试过好几次，有没有什么好的办法？
...

气泡是一部分，粘污也存在。
气泡的部分你查我的淘贴，以前很详细的讨论过如何消除。有条件的话真空排泡。
粘污的话，无非就是清洗或者买新的。关于清洗也可以看我的淘贴。
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14楼2014-04-18 18:13:34
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vincentwz

铁杆木虫 (著名写手)
★
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可能是基片，胶的问题，太脏了，分别确认他们是干净的

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
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15楼2014-04-19 18:04:37
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yuanxin5254

金虫 (正式写手)
★
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这个是针眼，有两个可能，一个是光刻胶被污染了，二是你的基底上有杂质，不干净，最好是在显微镜下看一下你的基地表面，用手电筒照就可以看到。

如果是光刻胶被污染了 胶就不能用了，如果是基底不干净就要重新好好洗洗了。先有机清晰，不行的话就要酸洗了。
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我们坚持做一件事情，并不是这样做了有效果，而是坚信，这样做了是对的。
16楼2014-04-19 19:17:18
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东北猴子

新虫 (初入文坛)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
应该主要是衬底的原因，我也遇到这种情况
衬底在显微镜下也会显示出这种情况，3分钟，感觉有点太短了
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17楼2014-05-30 22:20:40
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LightShade

铁虫 (初入文坛)
★
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问一下怎么解决的，我们也有类似的问题

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18楼2019-11-11 20:47:22
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众志启成

金虫 (正式写手)
★
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如果是基底脏，涂上胶有poor coating的箭状，这种就是胶有问题了，要换胶了，可以联系合肥启成微纳，他们出售各种胶，技术售后很专业

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19楼2019-11-15 22:35:58
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变成小神

新虫 (著名写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
能提供光刻服务不

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20楼2019-11-15 23:10:21
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