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ZYQZPF

铜虫 (小有名气)

[交流] 光刻胶上面的杂点是什么东西已有12人参与

刚做了光刻胶的旋涂,在光学显微镜下观察到的图像是这样的,想知道其中的点是什么东西。是气泡还是杂质?如果是气泡该怎么解决呢?正常的光刻胶涂好之后的图像该是什么样子的呢?

光刻胶上面的杂点是什么东西
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光刻胶上面的杂点是什么东西-1
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光刻胶上面的杂点是什么东西-2
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comeon
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yswyx

专家顾问 (著名写手)



小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
引用回帖:
6楼: Originally posted by ZYQZPF at 2014-03-29 14:05:24
感觉滴的时候能看到有一些小气泡,试过好几次,有没有什么好的办法?
...

气泡是一部分,粘污也存在。
气泡的部分你查我的淘贴,以前很详细的讨论过如何消除。有条件的话真空排泡。
粘污的话,无非就是清洗或者买新的。关于清洗也可以看我的淘贴。
14楼2014-04-18 18:13:34
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metaliium

银虫 (正式写手)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
不做光刻,但是你这个看上去像是没洗干净,或者样品表面非常不平。。。
2楼2014-03-28 07:29:38
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286228472

铁虫 (初入文坛)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
感觉大部分是样品表面的问题,一些是气泡,气泡的话 就是倒的时候轻轻倒,不要带入气泡了,靠手感
3楼2014-03-28 08:30:12
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gxytju2008

专家顾问 (文坛精英)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
感觉像气泡,可以做个SEM确认一下,不过第二个咋感觉这么脏呢,洁净室注意净度哈
4楼2014-03-28 09:39:15
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