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ZYQZPF

铜虫 (小有名气)

[交流] 光刻胶上面的杂点是什么东西已有12人参与

刚做了光刻胶的旋涂,在光学显微镜下观察到的图像是这样的,想知道其中的点是什么东西。是气泡还是杂质?如果是气泡该怎么解决呢?正常的光刻胶涂好之后的图像该是什么样子的呢?

光刻胶上面的杂点是什么东西
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光刻胶上面的杂点是什么东西-1
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光刻胶上面的杂点是什么东西-2
3.PNG
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comeon
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yswyx

专家顾问 (著名写手)



小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
引用回帖:
6楼: Originally posted by ZYQZPF at 2014-03-29 14:05:24
感觉滴的时候能看到有一些小气泡,试过好几次,有没有什么好的办法?
...

气泡是一部分,粘污也存在。
气泡的部分你查我的淘贴,以前很详细的讨论过如何消除。有条件的话真空排泡。
粘污的话,无非就是清洗或者买新的。关于清洗也可以看我的淘贴。
14楼2014-04-18 18:13:34
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