[交流] 光刻胶上面的杂点是什么东西已有12人参与

comeon

1楼2014-03-27 19:01:49

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3楼: Originally posted by 286228472 at 2014-03-28 08:30:12
感觉大部分是样品表面的问题，一些是气泡，气泡的话就是倒的时候轻轻倒，不要带入气泡了，靠手感

感觉滴的时候能看到有一些小气泡，试过好几次，有没有什么好的办法？

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comeon

6楼2014-03-29 14:05:24

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5楼: Originally posted by reninhat at 2014-03-28 10:30:16
洁净间太脏了

会不会是胶里面本身不干净，滴管什么的把灰尘带进去了？

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comeon

7楼2014-03-29 14:06:42

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4楼: Originally posted by gxytju2008 at 2014-03-28 09:39:15
感觉像气泡，可以做个SEM确认一下，不过第二个咋感觉这么脏呢，洁净室注意净度哈

第二个转速最高，大概4000转/分钟，可能是由于片子表面不干净，在胶比较薄的情况下明显一些

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comeon

8楼2014-03-29 14:08:02

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9楼: Originally posted by gxytju2008 at 2014-03-29 16:49:47
额。。这么脏的片子基本没办法用了啊，·增加预处理吧，要不就买免洗的...

我一般都是用丙酮超声再用乙醇超声最后用去离子水超声三分钟，氮气吹干就行了

comeon

11楼2014-04-02 16:30:07

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10楼: Originally posted by 千年积雪 at 2014-03-29 16:56:48
个人感觉是杂质。气泡不会异形。可能性应该是胶的问题

如果是胶脏的，只能换胶了吧？

comeon

12楼2014-04-02 16:30:35