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ZYQZPF

铜虫 (小有名气)

[交流] 光刻胶上面的杂点是什么东西已有12人参与

刚做了光刻胶的旋涂,在光学显微镜下观察到的图像是这样的,想知道其中的点是什么东西。是气泡还是杂质?如果是气泡该怎么解决呢?正常的光刻胶涂好之后的图像该是什么样子的呢?

光刻胶上面的杂点是什么东西
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光刻胶上面的杂点是什么东西-1
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光刻胶上面的杂点是什么东西-2
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comeon
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yuanxin5254

金虫 (正式写手)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
这个是针眼,有两个可能,一个是光刻胶被污染了,二是你的基底上有杂质,不干净,最好是在显微镜下看一下你的基地表面,用手电筒照就可以看到。

如果是光刻胶被污染了 胶就不能用了,如果是基底不干净就要重新好好洗洗了。先有机清晰,不行的话就要酸洗了。
我们坚持做一件事情,并不是这样做了有效果,而是坚信,这样做了是对的。
16楼2014-04-19 19:17:18
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metaliium

银虫 (正式写手)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
不做光刻,但是你这个看上去像是没洗干净,或者样品表面非常不平。。。
2楼2014-03-28 07:29:38
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286228472

铁虫 (初入文坛)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
感觉大部分是样品表面的问题,一些是气泡,气泡的话 就是倒的时候轻轻倒,不要带入气泡了,靠手感
3楼2014-03-28 08:30:12
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gxytju2008

专家顾问 (文坛精英)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
感觉像气泡,可以做个SEM确认一下,不过第二个咋感觉这么脏呢,洁净室注意净度哈
4楼2014-03-28 09:39:15
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