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w675142531铜虫 (小有名气)
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有没有具有延展性的光刻胶呢，用于pattern预拉伸的PDMS薄膜
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各位： 要做个东西得用到这方面的知识。我想在1mm左右的PDMS上先用mask遮挡，然后涂抹上一层光刻胶。然后将PDMS和光刻胶形成的薄层一起单轴拉伸，大概20%，拉伸后镀金。完事后解除拉伸，洗掉光刻胶。 所以我想问一下给位有没有具有延展性（stretchable）的光刻胶呢？由于自己是个外行，叙述如有问题敬请谅解，谢谢了  |
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【答案】应助回帖
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光刻胶在加热的时候具有比较好的延展性，加热的温度要看光刻胶的玻璃化温度（理论上是没有Tg的，一般把出现较大弹性的那个温度代替）。也就是说，你最好把PDMS和光刻胶一起加热后拉伸。但是问题是，当你温度降低后，光刻胶会收缩，有可能造成断裂。这个我没试过，仅仅是从理论上分析。 我的问题是，您问什么要拉伸前涂光刻胶？mask的作用是什么？丝网印刷？为什么不在PDMS拉伸后涂光刻胶，然后光刻？光刻胶的作用是什么？做镀金的选择掩蔽层？镀金是选择性电镀？ 我觉得很可能你的工艺流程设计的有问题。 |
2楼2012-09-27 11:11:01
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5楼2012-09-30 00:01:58
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