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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » 有没有具有延展性的光刻胶呢，用于pattern预拉伸的PDMS薄膜
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w675142531

铜虫 (小有名气)

[求助] 有没有具有延展性的光刻胶呢，用于pattern预拉伸的PDMS薄膜

各位：
      要做个东西得用到这方面的知识。我想在1mm左右的PDMS上先用mask遮挡，然后涂抹上一层光刻胶。然后将PDMS和光刻胶形成的薄层一起单轴拉伸，大概20%，拉伸后镀金。完事后解除拉伸，洗掉光刻胶。
      所以我想问一下给位有没有具有延展性（stretchable）的光刻胶呢？由于自己是个外行，叙述如有问题敬请谅解，谢谢了
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尽人事，听天命~
1楼 2012-09-27 04:07:19
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yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

★
感谢参与，应助指数 +1
zhaohaixing: 金币+1, 鼓励交流 2012-09-28 09:03:05
光刻胶在加热的时候具有比较好的延展性，加热的温度要看光刻胶的玻璃化温度（理论上是没有Tg的，一般把出现较大弹性的那个温度代替）。也就是说，你最好把PDMS和光刻胶一起加热后拉伸。但是问题是，当你温度降低后，光刻胶会收缩，有可能造成断裂。这个我没试过，仅仅是从理论上分析。

我的问题是，您问什么要拉伸前涂光刻胶？mask的作用是什么？丝网印刷？为什么不在PDMS拉伸后涂光刻胶，然后光刻？光刻胶的作用是什么？做镀金的选择掩蔽层？镀金是选择性电镀？

我觉得很可能你的工艺流程设计的有问题。
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2楼2012-09-27 11:11:01
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w675142531

铜虫 (小有名气)
★
zhaohaixing: 金币+1, 鼓励交流 2012-09-28 09:03:18
引用回帖:
2楼: Originally posted by yswyx at 2012-09-27 11:11:01
光刻胶在加热的时候具有比较好的延展性，加热的温度要看光刻胶的玻璃化温度（理论上是没有Tg的，一般把出现较大弹性的那个温度代替）。也就是说，你最好把PDMS和光刻胶一起加热后拉伸。但是问题是，当你温度降低后， ...

谢谢您的回答，我最后的目的是要在PDMS薄膜上镀金形成一个规矩的长方形。我现在希望是双轴拉伸，一个方向的拉伸到20%，另一个方向至少能抵消泊松效应的影响。由于拉伸设备的限制，变形之后镀金，之后卸掉拉伸力，形成的图形很难使规矩的长方形。所以，如果光刻胶能跟PDMS一块拉伸，我就想先在没有拉伸前用光刻涂抹正方形周围的区域，然后拉伸，镀金，卸载之后就能得到较为规矩的正方形了。
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尽人事，听天命~
3楼2012-09-27 22:59:23
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yswyx

专家顾问 (著名写手)
★
zhaohaixing: 金币+1, 鼓励交流 2012-09-28 10:15:15
为什么不能在PDMS卸载后再做正方形的金？当PDMS卸载后，再涂胶，光刻，镀金。这样不行吗？
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4楼2012-09-28 00:23:22
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w675142531

铜虫 (小有名气)
引用回帖:
4楼: Originally posted by yswyx at 2012-09-28 00:23:22
为什么不能在PDMS卸载后再做正方形的金？当PDMS卸载后，再涂胶，光刻，镀金。这样不行吗？

这样的话镀金之后，拉伸PDMS的时候金膜很快就断了 不能导电了
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尽人事，听天命~
5楼2012-09-30 00:01:58
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yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

引用回帖:
5楼: Originally posted by w675142531 at 2012-09-30 00:01:58
这样的话镀金之后，拉伸PDMS的时候金膜很快就断了 不能导电了...

为啥一定要金来导电呢？柔性的导电材料很多啊。

不过，你的方案应该也可以。就是不知道你要求的尺寸精度。光刻的话，尺寸精度会好些。但是光刻的工艺处理麻烦。你可以先涂胶，不要前烘，直接拉伸，这时候的光刻胶是软的，变形不会有问题。拉伸好了前烘，前烘温度可以低一些，一面PDMS化掉。烘好了以后不要释放，直接去镀金，可以考虑化学镀。溅射温度会高，也容易变形。镀好了以后，去胶用丙酮或者碱液，不知道会不会的PDMS有影响。

不用光刻胶其实可以达到同样的目的，比如做PCB版的绿漆。
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6楼2012-09-30 02:14:12
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w675142531

铜虫 (小有名气)
引用回帖:
6楼: Originally posted by yswyx at 2012-09-30 02:14:12
为啥一定要金来导电呢？柔性的导电材料很多啊。

不过，你的方案应该也可以。就是不知道你要求的尺寸精度。光刻的话，尺寸精度会好些。但是光刻的工艺处理麻烦。你可以先涂胶，不要前烘，直接拉伸，这时候的光刻 ...

感谢您的回复，我希望达到40%的拉伸之后，导电材料的导电性基本不发生变化。我看文献除了日本一个课题组的单壁碳纳米管SWNT，其他的柔性的导电材料很难做到这点，还有就是我希望导电材料本身的电阻在10的2次方之内，不知道有没有方法，你说的绿漆我这就去查查，谢谢了
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尽人事，听天命~
7楼2012-09-30 04:02:10
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tigerflyer

铁虫 (初入文坛)
我想请问一下楼主，如何让做的PDMS的预拉伸，这些天我也要做PDMS的拉伸，然后转移石墨烯到上面，做成褶皱，我都是用长尾夹夹住PDMS做拉伸，再固定到载玻片上的。
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8楼2015-04-15 12:48:59
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tigerflyer

铁虫 (初入文坛)
引用回帖:
8楼: Originally posted by tigerflyer at 2015-04-15 12:48:59
我想请问一下楼主，如何让做的PDMS的预拉伸，这些天我也要做PDMS的拉伸，然后转移石墨烯到上面，做成褶皱，我都是用长尾夹夹住PDMS做拉伸，再固定到载玻片上的。

另外，我做的PDMS在拉伸过程中特别容易断裂，可能是因为实验要求，将其做得比较薄导致的，所以想求教楼主一下，怎么拉伸成功的，又是如何对它的拉伸程度做到可控的？
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9楼2015-04-15 12:58:52
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