24小时热门版块排行榜    

查看: 1847  |  回复: 8
当前只显示满足指定条件的回帖,点击这里查看本话题的所有回帖

w675142531

铜虫 (小有名气)

[求助] 有没有具有延展性的光刻胶呢,用于pattern预拉伸的PDMS薄膜

各位:
      要做个东西得用到这方面的知识。我想在1mm左右的PDMS上先用mask遮挡,然后涂抹上一层光刻胶。然后将PDMS和光刻胶形成的薄层一起单轴拉伸,大概20%,拉伸后镀金。完事后解除拉伸,洗掉光刻胶。
      所以我想问一下给位有没有具有延展性(stretchable)的光刻胶呢?由于自己是个外行,叙述如有问题敬请谅解,谢谢了
回复此楼
尽人事,听天命~
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

tigerflyer

铁虫 (初入文坛)

引用回帖:
8楼: Originally posted by tigerflyer at 2015-04-15 12:48:59
我想请问一下楼主,如何让做的PDMS的预拉伸,这些天我也要做PDMS的拉伸,然后转移石墨烯到上面,做成褶皱,我都是用长尾夹夹住PDMS做拉伸,再固定到载玻片上的。

另外,我做的PDMS在拉伸过程中特别容易断裂,可能是因为实验要求,将其做得比较薄导致的,所以想求教楼主一下,怎么拉伸成功的,又是如何对它的拉伸程度做到可控的?
9楼2015-04-15 12:58:52
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 9 个回答

yswyx

专家顾问 (著名写手)


【答案】应助回帖


感谢参与,应助指数 +1
zhaohaixing: 金币+1, 鼓励交流 2012-09-28 09:03:05
光刻胶在加热的时候具有比较好的延展性,加热的温度要看光刻胶的玻璃化温度(理论上是没有Tg的,一般把出现较大弹性的那个温度代替)。也就是说,你最好把PDMS和光刻胶一起加热后拉伸。但是问题是,当你温度降低后,光刻胶会收缩,有可能造成断裂。这个我没试过,仅仅是从理论上分析。

我的问题是,您问什么要拉伸前涂光刻胶?mask的作用是什么?丝网印刷?为什么不在PDMS拉伸后涂光刻胶,然后光刻?光刻胶的作用是什么?做镀金的选择掩蔽层?镀金是选择性电镀?

我觉得很可能你的工艺流程设计的有问题。
2楼2012-09-27 11:11:01
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

w675142531

铜虫 (小有名气)


zhaohaixing: 金币+1, 鼓励交流 2012-09-28 09:03:18
引用回帖:
2楼: Originally posted by yswyx at 2012-09-27 11:11:01
光刻胶在加热的时候具有比较好的延展性,加热的温度要看光刻胶的玻璃化温度(理论上是没有Tg的,一般把出现较大弹性的那个温度代替)。也就是说,你最好把PDMS和光刻胶一起加热后拉伸。但是问题是,当你温度降低后, ...

谢谢您的回答,我最后的目的是要在PDMS薄膜上镀金形成一个规矩的长方形。我现在希望是双轴拉伸,一个方向的拉伸到20%,另一个方向至少能抵消泊松效应的影响。由于拉伸设备的限制,变形之后镀金,之后卸掉拉伸力,形成的图形很难使规矩的长方形。所以,如果光刻胶能跟PDMS一块拉伸,我就想先在没有拉伸前用光刻涂抹正方形周围的区域,然后拉伸,镀金,卸载之后就能得到较为规矩的正方形了。
尽人事,听天命~
3楼2012-09-27 22:59:23
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

yswyx

专家顾问 (著名写手)



zhaohaixing: 金币+1, 鼓励交流 2012-09-28 10:15:15
为什么不能在PDMS卸载后再做正方形的金?当PDMS卸载后,再涂胶,光刻,镀金。这样不行吗?
4楼2012-09-28 00:23:22
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
信息提示
请填处理意见