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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 【求助】关于光刻匀胶烤胶设备及光刻胶的选择
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木冰

铜虫 (小有名气)

[交流] 【求助】关于光刻匀胶烤胶设备及光刻胶的选择

405nm光刻时用什么样的光刻胶(正胶)比较好？说下理由，另外是不是必须买齐滴胶机，匀胶机，热板呢？热板和烤胶机是一个东西吗？另外希望问下买匀胶机要注意什么？哪几种品牌比较好？谢谢！
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1楼 2010-12-13 12:12:27
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gongyong1214

新虫 (初入文坛)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
现在的光刻工艺上匀胶机最好性能稳定一点，可重复性、均匀性要好，烤胶机的话受热要均匀。
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5楼2014-04-01 14:44:57
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senpeng

铜虫 (小有名气)
滴胶机不需要吧，直接滴管滴就可以了；热板都不需要，一般实验室都有烘箱的
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2楼2011-01-18 22:09:50
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dugu

木虫 (小有名气)
楼主问的太泛了
用正胶还是负胶，取决于你的掩模板，掩模板做好后，只能选用特定的光刻胶
正胶和负胶理论上都可以，要求较高的话，可以查下产品说明
匀胶机是必须的，光刻胶得保证厚度和平整性，这个好多产品，不用很先进，能稳定地转就可以了
用热板烘烤会很方便，如果没有，炉子也能凑乎用，能控好温度和时间就行
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3楼2011-01-19 12:05:41
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woody5532

银虫 (初入文坛)
我们买的烘胶台，感觉受热比较均匀操作比较方便，烘箱感觉用着不精确
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4楼2011-03-31 08:56:54
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