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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 实验室中常用的正性紫外光刻胶都有哪些？
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dearmaximus

金虫 (正式写手)

迷途小书童/二手科学家

[交流] 实验室中常用的正性紫外光刻胶都有哪些？ 已有7人参与

实验室中常用的正性紫外光刻胶都有哪些？
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1楼 2013-12-04 13:33:10
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yswyx

专家顾问 (著名写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
只有合适的，没有常用的。你说用途，可以给你推荐。
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2楼2013-12-04 13:37:55
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yswyx

专家顾问 (著名写手)
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引用回帖:
9楼: Originally posted by dearmaximus at 2013-12-05 09:03:36
我们此前用的是BP212-37正性紫外光刻胶。也许是光刻胶已经过期或者显影液未经稀释的原因，这种光刻胶对紫外光非常敏感，我们不断的下调光强以及减少曝光时间，都无法得到完整的图形。倒霉的是我找不到任何产品说明 ...

212是很古老的光刻胶了。科华的售后不说也罢，瑞红的同样。
37是指粘度，估计成膜的厚度在3um左右。
你想要什么样的图形结果，分辨率啊，厚度啊；后续要什么工艺，腐蚀啊，刻蚀啊，lift off啊，这样才好给你推荐。
直接站内找“静静一yi”吧，换个胶试试。
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12楼2013-12-05 15:09:52
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普通回帖

dearmaximus

金虫 (正式写手)

迷途小书童/二手科学家
紫外光源为365nm的。
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3楼2013-12-04 13:41:02
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babyoflion

金虫 (著名写手)
这和没说是一样
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4楼2013-12-04 18:54:54
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愤怒的-小虫

铁虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
负性光刻胶有SU8胶，但不是紫外波段
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灵魂和肉体的战斗
5楼2013-12-04 19:49:33
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幸福少爷

铁杆木虫 (著名写手)
★
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去苏州瑞红官网看一下  我们都是用这家的
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Youjustfocus
6楼2013-12-04 19:57:24
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dearmaximus

金虫 (正式写手)

迷途小书童/二手科学家
引用回帖:
2楼: Originally posted by yswyx at 2013-12-04 13:37:55
只有合适的，没有常用的。你说用途，可以给你推荐。

不知道如何描述。
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7楼2013-12-05 08:58:58
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dearmaximus

金虫 (正式写手)

迷途小书童/二手科学家
引用回帖:
4楼: Originally posted by babyoflion at 2013-12-04 18:54:54
这和没说是一样

因为不知道如何描述。
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8楼2013-12-05 08:59:16
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dearmaximus

金虫 (正式写手)

迷途小书童/二手科学家
引用回帖:
6楼: Originally posted by 幸福少爷 at 2013-12-04 19:57:24
去苏州瑞红官网看一下  我们都是用这家的

我们此前用的是BP212-37正性紫外光刻胶。也许是光刻胶已经过期或者显影液未经稀释的原因，这种光刻胶对紫外光非常敏感，我们不断的下调光强以及减少曝光时间，都无法得到完整的图形。倒霉的是我找不到任何产品说明书，而且生产BP212-37光刻胶的北京科华微公司对我们的询问邮件和电话一概不理不睬。
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9楼2013-12-05 09:03:36
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chemater

木虫 (小有名气)
★
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紫外正型光刻胶有很多种，主要的有国外的shipley公司的AZ系列的，国内有北京科华的BP系列的，等等。最大分辨率普遍在1-5微米，根据胶膜的厚度和曝光方式等有所变化。
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chema
10楼2013-12-05 09:40:00
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