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dearmaximus

金虫 (正式写手)

迷途小书童/二手科学家

[交流] 实验室中常用的正性紫外光刻胶都有哪些? 已有7人参与

实验室中常用的正性紫外光刻胶都有哪些?
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yswyx

专家顾问 (著名写手)



小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
只有合适的,没有常用的。你说用途,可以给你推荐。
2楼2013-12-04 13:37:55
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yswyx

专家顾问 (著名写手)



小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
引用回帖:
9楼: Originally posted by dearmaximus at 2013-12-05 09:03:36
我们此前用的是BP212-37正性紫外光刻胶。也许是光刻胶已经过期或者显影液未经稀释的原因,这种光刻胶对紫外光非常敏感,我们不断的下调光强以及减少曝光时间,都无法得到完整的图形。倒霉的是我找不到任何产品说明 ...

212是很古老的光刻胶了。科华的售后不说也罢,瑞红的同样。
37是指粘度,估计成膜的厚度在3um左右。
你想要什么样的图形结果,分辨率啊,厚度啊;后续要什么工艺,腐蚀啊,刻蚀啊,lift off啊,这样才好给你推荐。
直接站内找“静静一yi”吧,换个胶试试。
12楼2013-12-05 15:09:52
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普通回帖

dearmaximus

金虫 (正式写手)

迷途小书童/二手科学家

紫外光源为365nm的。
3楼2013-12-04 13:41:02
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babyoflion

金虫 (著名写手)

这和没说是一样
4楼2013-12-04 18:54:54
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愤怒的-小虫

铁虫 (小有名气)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
负性光刻胶有SU8胶,但不是紫外波段
灵魂和肉体的战斗
5楼2013-12-04 19:49:33
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幸福少爷

铁杆木虫 (著名写手)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
去苏州瑞红官网看一下  我们都是用这家的
Youjustfocus
6楼2013-12-04 19:57:24
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dearmaximus

金虫 (正式写手)

迷途小书童/二手科学家

引用回帖:
2楼: Originally posted by yswyx at 2013-12-04 13:37:55
只有合适的,没有常用的。你说用途,可以给你推荐。

不知道如何描述。
7楼2013-12-05 08:58:58
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dearmaximus

金虫 (正式写手)

迷途小书童/二手科学家

引用回帖:
4楼: Originally posted by babyoflion at 2013-12-04 18:54:54
这和没说是一样

因为不知道如何描述。
8楼2013-12-05 08:59:16
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dearmaximus

金虫 (正式写手)

迷途小书童/二手科学家

引用回帖:
6楼: Originally posted by 幸福少爷 at 2013-12-04 19:57:24
去苏州瑞红官网看一下  我们都是用这家的

我们此前用的是BP212-37正性紫外光刻胶。也许是光刻胶已经过期或者显影液未经稀释的原因,这种光刻胶对紫外光非常敏感,我们不断的下调光强以及减少曝光时间,都无法得到完整的图形。倒霉的是我找不到任何产品说明书,而且生产BP212-37光刻胶的北京科华微公司对我们的询问邮件和电话一概不理不睬。
9楼2013-12-05 09:03:36
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chemater

木虫 (小有名气)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
紫外正型光刻胶有很多种,主要的有国外的shipley公司的AZ系列的,国内有北京科华的BP系列的,等等。最大分辨率普遍在1-5微米,根据胶膜的厚度和曝光方式等有所变化。
chema
10楼2013-12-05 09:40:00
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