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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 实验室中常用的正性紫外光刻胶都有哪些？
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幸福少爷

铁杆木虫 (著名写手)
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9楼: Originally posted by dearmaximus at 2013-12-05 09:03:36
我们此前用的是BP212-37正性紫外光刻胶。也许是光刻胶已经过期或者显影液未经稀释的原因，这种光刻胶对紫外光非常敏感，我们不断的下调光强以及减少曝光时间，都无法得到完整的图形。倒霉的是我找不到任何产品说明 ...

1、你说的光刻胶对紫外光非常敏感具体表现在什么地方，不断下调光强减少曝光时间之后做出来的图形是什么样的？能否贴出来看下
2、赶紧换胶啊  这种商家的东西还用它干吗
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Youjustfocus
11楼2013-12-05 11:39:28
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yswyx

专家顾问 (著名写手)
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9楼: Originally posted by dearmaximus at 2013-12-05 09:03:36
我们此前用的是BP212-37正性紫外光刻胶。也许是光刻胶已经过期或者显影液未经稀释的原因，这种光刻胶对紫外光非常敏感，我们不断的下调光强以及减少曝光时间，都无法得到完整的图形。倒霉的是我找不到任何产品说明 ...

212是很古老的光刻胶了。科华的售后不说也罢，瑞红的同样。
37是指粘度，估计成膜的厚度在3um左右。
你想要什么样的图形结果，分辨率啊，厚度啊；后续要什么工艺，腐蚀啊，刻蚀啊，lift off啊，这样才好给你推荐。
直接站内找“静静一yi”吧，换个胶试试。
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12楼2013-12-05 15:09:52
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spiderman504

金虫 (小有名气)
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我们这边用的是EPG 516型正胶，主要还是要看你的用途，根据刻蚀等考虑胶厚，胶的抗腐蚀等等。
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由于您的签名过于个性，小木虫暂时无法显示。。。
13楼2014-04-11 23:32:57
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penglong66

木虫 (小有名气)
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9楼: Originally posted by dearmaximus at 2013-12-05 09:03:36
我们此前用的是BP212-37正性紫外光刻胶。也许是光刻胶已经过期或者显影液未经稀释的原因，这种光刻胶对紫外光非常敏感，我们不断的下调光强以及减少曝光时间，都无法得到完整的图形。倒霉的是我找不到任何产品说明 ...

楼主，你好，请问你那里有BP212-37光刻胶转速与厚度之间的参数吗？如果有的话能不能发给我一份，谢谢。
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加油，可以的，不要为外物所扰。。
14楼2017-02-07 11:40:14
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