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dearmaximus

金虫 (正式写手)

迷途小书童/二手科学家

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[交流] 实验室中常用的正性紫外光刻胶都有哪些？已有7人参与

实验室中常用的正性紫外光刻胶都有哪些？

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1楼 2013-12-04 13:33:10

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yswyx

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引用回帖:

9楼: Originally posted by dearmaximus at 2013-12-05 09:03:36
我们此前用的是BP212-37正性紫外光刻胶。也许是光刻胶已经过期或者显影液未经稀释的原因，这种光刻胶对紫外光非常敏感，我们不断的下调光强以及减少曝光时间，都无法得到完整的图形。倒霉的是我找不到任何产品说明 ...

212是很古老的光刻胶了。科华的售后不说也罢，瑞红的同样。
37是指粘度，估计成膜的厚度在3um左右。
你想要什么样的图形结果，分辨率啊，厚度啊；后续要什么工艺，腐蚀啊，刻蚀啊，lift off啊，这样才好给你推荐。
直接站内找“静静一yi”吧，换个胶试试。