| 查看: 2436 | 回复: 7 | |||
dearmaximus金虫 (正式写手)
迷途小书童/二手科学家
|
[求助]
关于光刻剥离的难题
|
| 在SiO2/Si片匀胶光刻后钨舟热蒸发100nm铝膜，剥离过程中发现图形部分的金属膜无法剥离，请高手指点迷津！丙酮加热和常温浸泡3天仍无法剥离。是什么原因导致的？匀胶过程：800转/分for12秒，3000转/分for30秒，前烘80度for10分钟，后烘85度for10分钟，光刻胶是BP212正胶。 |
回复此楼» 收录本帖的淘帖专辑推荐
 镀膜 |
» 猜你喜欢
学院官方群-院士团队招生-学生自由度高-培养模式成熟已有10余名学生赴985海外深造
已经有0人回复
-
武汉纺织大学化工学院官方群-院士团队招生-学生自由度高-10余名学生赴985海外深造
已经有0人回复
-
金属材料论文润色/翻译怎么收费?
已经有224人回复
-
南昌航空大学蒋华麟教授课题组招收化学、环境、碳达峰碳中和及相关专业硕士信息
已经有0人回复
-
湖北师范大学复试调剂
已经有0人回复
-
武汉纺织大学_化工学院官方调剂群-院士团队招生-学生自由度高-每届发展好
已经有0人回复
-
河北大学材料与化工专业研究生（专硕）招收调剂生
已经有0人回复
-
河北大学无机化学专业招收调剂生
已经有0人回复
-
济南大学国家优青课题组 2026 调剂招生来啦
已经有0人回复
-
武汉纺织大学_化学院官方调剂群-院士团队招生-学生自由度高发展好-欢迎各位同学
已经有0人回复
» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
- AZ 4620 光刻胶在常温下放久之后会影响些什么性能
已经有14人回复
- 请教 光刻胶PMMA 的使用
已经有7人回复
- 求助：文献中光刻胶线条的截面SEM图（cross-sectional SEM）那种截面是怎么得到的
已经有16人回复
- 【求助】光刻板的问题
已经有9人回复
- 【求助】请问一下光刻胶是什么东西？成分是什么？
已经有6人回复
- 【求助】光刻时显影不彻底
已经有6人回复
- 实验室制备光刻胶需要注意的关键问题？
已经有2人回复
- 【请教】正性光刻胶溶于碱性溶液？？？
已经有15人回复
- 【资源】电子束光刻技术
已经有32人回复
tkhk
木虫 (正式写手)
- 应助: 2 (幼儿园)
- 金币: 6631.8
- 散金: 67
- 红花: 1
- 帖子: 712
- 在线: 208.4小时
- 虫号: 780025
- 注册: 2009-05-26
- 专业: 半导体光电子器件
2楼2012-05-17 18:46:52
3楼2012-05-31 20:19:40
dearmaximus
金虫 (正式写手)
迷途小书童/二手科学家
- 应助: 8 (幼儿园)
- 金币: 2514.8
- 散金: 30
- 红花: 5
- 帖子: 665
- 在线: 341.4小时
- 虫号: 355083
- 注册: 2007-04-25
- 性别: GG
- 专业: 半导体电子器件
4楼2012-06-01 12:03:49
5楼2012-06-01 12:33:44
6楼2012-06-17 14:43:08
anothershot
铁虫 (初入文坛)
- 应助: 2 (幼儿园)
- 金币: 10.5
- 散金: 20
- 红花: 2
- 帖子: 42
- 在线: 68小时
- 虫号: 1936489
- 注册: 2012-08-13
- 性别: GG
- 专业: 凝聚态物性 II ：电子结构
7楼2012-09-05 12:24:44
dearmaximus
金虫 (正式写手)
迷途小书童/二手科学家
- 应助: 8 (幼儿园)
- 金币: 2514.8
- 散金: 30
- 红花: 5
- 帖子: 665
- 在线: 341.4小时
- 虫号: 355083
- 注册: 2007-04-25
- 性别: GG
- 专业: 半导体电子器件
8楼2013-09-24 17:45:37
