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关于光刻剥离的难题
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| 在SiO2/Si片匀胶光刻后钨舟热蒸发100nm铝膜，剥离过程中发现图形部分的金属膜无法剥离，请高手指点迷津！丙酮加热和常温浸泡3天仍无法剥离。是什么原因导致的？匀胶过程：800转/分for12秒，3000转/分for30秒，前烘80度for10分钟，后烘85度for10分钟，光刻胶是BP212正胶。 |
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 镀膜 |
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