应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 关于光刻剥离的难题
81/1返回列表
查看: 2386  |  回复: 7
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看

dearmaximus

金虫 (正式写手)

迷途小书童/二手科学家

[求助] 关于光刻剥离的难题

在SiO2/Si片匀胶光刻后钨舟热蒸发100nm铝膜，剥离过程中发现图形部分的金属膜无法剥离，请高手指点迷津！丙酮加热和常温浸泡3天仍无法剥离。是什么原因导致的？匀胶过程：800转/分for12秒，3000转/分for30秒，前烘80度for10分钟，后烘85度for10分钟，光刻胶是BP212正胶。
回复此楼

» 收录本帖的淘帖专辑推荐

镀膜

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
1楼 2012-05-16 15:52:16
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

tkhk

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★
感谢参与，应助指数 +1
dearmaximus: 金币+1, ★★★★★最佳答案 2012-05-21 09:45:33
lchpy: 金币+1, thanks for your information~ 2012-05-31 20:56:46
光刻剥离一般用负胶
楼主可以去半导体技术天地问问，那里更专业
赞一下(1人) 回复此楼
2楼2012-05-17 18:46:52
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

haerbin06

铜虫 (小有名气)
刻蚀掉不可以吗,,湿刻蚀
赞一下 回复此楼
我很好
3楼2012-05-31 20:19:40
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

dearmaximus

金虫 (正式写手)

迷途小书童/二手科学家
引用回帖:
3楼: Originally posted by haerbin06 at 2012-05-31 20:19:40
刻蚀掉不可以吗,,湿刻蚀

现在知道了，正胶做不出倒梯形，而且热蒸发金属的粘附力不够，无法超声剥离。
赞一下 回复此楼
4楼2012-06-01 12:03:49
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

haerbin06

铜虫 (小有名气)
引用回帖:
4楼: Originally posted by dearmaximus at 2012-06-01 12:03:49
现在知道了，正胶做不出倒梯形，而且热蒸发金属的粘附力不够，无法超声剥离。...

倒梯形,要用负娇,而且要厚点的,如su8,看你的线宽要求了........超声肯定不会完全脱落的,,,,粘附力取决于你的基地的表面性质,,建议蒸镀之前用descum
赞一下 回复此楼
我很好
5楼2012-06-01 12:33:44
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

seameetland

铁虫 (初入文坛)
也可以将正胶反转用，如AZ系列的5214胶型，做出的倒梯形也很漂亮
赞一下 回复此楼
6楼2012-06-17 14:43:08
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

anothershot

铁虫 (初入文坛)
正胶lift-off可以在曝光后氯苯浸泡处理。形成边缘突出的侧壁，我试过这个工艺。
赞一下(1人) 回复此楼
To be a rock and not to roll
7楼2012-09-05 12:24:44
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

dearmaximus

金虫 (正式写手)

迷途小书童/二手科学家
引用回帖:
7楼: Originally posted by anothershot at 2012-09-05 12:24:44
正胶lift-off可以在曝光后氯苯浸泡处理。形成边缘突出的侧壁，我试过这个工艺。

半导体技术天地也有人这么做的
赞一下 回复此楼
8楼2013-09-24 17:45:37
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 dearmaximus 的主题更新
81/1返回列表
普通表情 龙 兔 虎 猫
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[基金申请] 国自科面上基金字体 +6 iwuli 2026-03-12 7/350 2026-03-16 21:18 by sculhf
[考研] 302求调剂 +3 小贾同学123 2026-03-15 5/250 2026-03-16 20:39 by zhq0425
[考研] 304求调剂 +4 ahbd 2026-03-14 4/200 2026-03-16 16:48 by 我的船我的海
[考研] 311求调剂 +6 冬十三 2026-03-15 6/300 2026-03-16 08:00 by wang_dand
[考研] 294求调剂 +3 Zys010410@ 2026-03-13 4/200 2026-03-15 10:59 by zhq0425
[考研] 321求调剂 +3 CUcat 2026-03-10 3/150 2026-03-14 00:25 by JourneyLucky
[考研] b区环境工程求调剂 +4 Maps1 2026-03-10 6/300 2026-03-14 00:23 by JourneyLucky
[考研] 材料工程,326分，求调剂 +6 KRSLSR 2026-03-10 6/300 2026-03-13 23:47 by JourneyLucky
[考研] 285 求调剂 资源与环境 一志愿北京化工大学 +3 未名考生 2026-03-10 3/150 2026-03-13 23:04 by JourneyLucky
[考研] 材料371求调剂 +9 鳄鱼? 2026-03-11 11/550 2026-03-13 22:53 by JourneyLucky
[考研] 材料工程调剂 +9 咪咪空空 2026-03-12 9/450 2026-03-13 22:05 by 星空星月
[考研] ［0860］321分求调剂，ab区皆可 +4 宝贵热 2026-03-13 4/200 2026-03-13 22:01 by 星空星月
[考研] 0703化学一志愿211 总分320求调剂 +5 玛卡巴卡啊哈 2026-03-11 5/250 2026-03-13 21:40 by JourneyLucky
[考研] 307求调剂 +5 超级伊昂大王 2026-03-12 5/250 2026-03-13 15:56 by 棒棒球手
[论文投稿] 投稿问题 5+4 星光灿烂xt 2026-03-12 6/300 2026-03-13 14:17 by god_tian
[考研] 求调剂 资源与环境 285 +3 未名考生 2026-03-10 3/150 2026-03-13 10:31 by houyaoxu
[考研] 290求调剂 +3 ADT 2026-03-13 3/150 2026-03-13 10:19 by peike
[考研] 290求调剂 +3 柯淮然 2026-03-10 8/400 2026-03-11 13:48 by 柯淮然
[考研] 哈工大材料324求调剂 +6 闫旭东 2026-03-10 8/400 2026-03-10 22:49 by 星空星月
[考研] 调剂 +5 呵唔哦豁 2026-03-10 5/250 2026-03-10 22:00 by 28375m
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭