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小木虫论坛-学术科研互动平台» 网络生活区» 有奖问答 » 有奖问答完结子版 » 实验室制备光刻胶需要注意的关键问题？
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senlor

铜虫 (小有名气)

[交流] 实验室制备光刻胶需要注意的关键问题？

高校实验室制备光刻胶的有哪些要注意的问题，或者说关键之处，希望有这方面经验的虫友专家指点！本人小硕，刚接触光刻胶课题！
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1楼 2010-09-01 08:37:24
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fly9901

银虫 (初入文坛)
senlor(金币+1, 博学EPI+1): 2010-09-03 08:56:11
只用过光刻胶。。。制备不会。。。
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2楼2010-09-01 08:40:06
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sanghongyuan

木虫 (正式写手)

木米末
senlor(金币+1):谢谢 2010-09-03 08:56:21
光刻胶的种类很多。简单来说分为
①光聚合型
　　采用烯类单体，在光作用下生成自由基，自由基再进一步引发单体聚合，最后生成聚合物，具有形成正像的特点。
②光分解型
　　采用含有叠氮醌类化合物的材料，经光照后,会发生光分解反应,由油溶性变为水溶性，可以制成正性胶.
③光交联型
　　采用聚乙烯醇月桂酸酯等作为光敏材料,在光的作用下,其分子中的双键被打开，并使链与链之间发生交联，形成一种不溶性的网状结构，而起到抗蚀作用，这是一种典型的负性光刻胶。

你制备的种类不同关键点是不一样的。要区别对待
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木米末
3楼2010-09-01 08:41:30
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