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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 光刻胶和激光器的选择
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快乐的土豆

金虫 (初入文坛)

Michael

[求助] 光刻胶和激光器的选择

我想制作一个周期大概600nm高几十i纳米的光栅，因没怎么接触过这个，求推荐合适波长和功率激光器（最好有型号和厂商），和光刻胶型号，另外，影响光刻胶性能参数的因素有什么？制作光栅的过程中影响光栅的高度和周期的参数有什么？能不能得到占空比可调的光栅？求解答
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Don'tdelay!Don'tcomplain!
1楼 2013-10-14 11:47:14
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回帖支持 ( 显示支持度最高的前 50 名 )

孙?�730

至尊木虫 (知名作家)

优秀版主
这个问题涉及关键技术方案 金币恐怕解决不了问题
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sunyu730_emuch@126.com
2楼2013-10-14 12:36:52
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普通回帖

快乐的土豆

金虫 (初入文坛)

Michael
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2?: Originally posted by ????730 at 2013-10-14 12:36:52
????????漰??????????? ????????????????

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Don'tdelay!Don'tcomplain!
3楼2013-10-14 14:19:29
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yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
快乐的土豆: 金币+5 2013-10-17 14:34:12
1. 光栅材料用什么？光刻胶本身吗？
2. 自己用激光器做光刻？你们有现成的光刻手段吗？激光干涉光刻还是双光子干涉光刻？
3. 什么叫占空比可调？光栅线条来回动？

影响光刻胶性能参数的因素多如牛毛，影响光栅高度和周期的参数同样多如牛毛。基本的光刻概念可以在iask或者百度文库里面搜，虽说很烂，但是满足基本感性认识还行。
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4楼2013-10-14 17:18:38
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Apple.D.

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
快乐的土豆: 金币+5, ★有帮助 2013-10-17 14:34:02
哥们，你的光栅的周期是多少？如果是100nm一下，用激光聚光直接刻蚀恐怕很难做到。我是做激光干涉光刻的，即使使用激光干涉光刻也够呛能达到你要的要求，不过还是可以解决的就是比较繁琐，而且能制备出这个尺寸的激光器一定是紫外激光器，深紫外激光器一定能做到，但是价格非常昂贵。光刻胶的性能参数确实很多，你可以自己搜一下，如果采用激光干涉光刻的方法的话，影响光栅的高度和周期的参数主要是激光器的波长和能量，通过改变入射角度，改变占空比。
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5楼2013-10-14 17:34:45
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zeiss

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
快乐的土豆: 金币+5, ★有帮助 2013-10-17 14:33:50
首先你要确定用什么光刻方法，现在光刻技术也有很多，比如传统投影式光刻用的是汞灯的g,h,i 线，其波长都在紫外区，还有就是激光直写，这个的话可以采用405nm的半导体激光器，不过光刻对激光器的要求挺高，比如功率稳定性，光谱线宽，模式等，所以价格也不菲。还有就是楼上提到的激光干涉光刻，这个做周期性结构（如光栅 ）比较好。光刻胶的话就要根据激光波长和你想要刻写在什么材料上及腐蚀工艺。
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什么都没意思就真没意思了
6楼2013-10-17 11:18:55
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快乐的土豆

金虫 (初入文坛)

Michael
引用回帖:
4楼: Originally posted by yswyx at 2013-10-14 17:18:38
1. 光栅材料用什么？光刻胶本身吗？
2. 自己用激光器做光刻？你们有现成的光刻手段吗？激光干涉光刻还是双光子干涉光刻？
3. 什么叫占空比可调？光栅线条来回动？

影响光刻胶性能参数的因素多如牛毛，影响光栅 ...

光栅材料是Ag，打算用激光干涉光刻，占空比可调的意思是说通过控制工艺，得到任何占空比的光栅，不知道能不能做到，只是期望能，因为才刚刚开始，知道的较少，所以各种查
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7楼2013-10-17 14:28:24
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快乐的土豆

金虫 (初入文坛)

Michael
引用回帖:
5楼: Originally posted by Apple.D. at 2013-10-14 17:34:45
哥们，你的光栅的周期是多少？如果是100nm一下，用激光聚光直接刻蚀恐怕很难做到。我是做激光干涉光刻的，即使使用激光干涉光刻也够呛能达到你要的要求，不过还是可以解决的就是比较繁琐，而且能制备出这个尺寸的激 ...

光栅周期是500nm-600nm，想问一下能不能用连续紫外激光器做，脉冲的太贵了，还有膜厚大概几十到几百个nm，能不能推荐相应的光刻胶型号，最好正性和负性的都推荐一下，如果有的话，谢谢
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8楼2013-10-17 14:30:47
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快乐的土豆

金虫 (初入文坛)

Michael
引用回帖:
6楼: Originally posted by zeiss at 2013-10-17 11:18:55
首先你要确定用什么光刻方法，现在光刻技术也有很多，比如传统投影式光刻用的是汞灯的g,h,i 线，其波长都在紫外区，还有就是激光直写，这个的话可以采用405nm的半导体激光器，不过光刻对激光器的要求挺高，比如功率 ...

激光干涉光刻，目前打算用波长355nm的连续激光器，求推荐光刻胶型号，最好有价格和供应商，谢谢
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9楼2013-10-17 14:32:29
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Apple.D.

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

引用回帖:
8楼: Originally posted by 快乐的土豆 at 2013-10-17 14:30:47
光栅周期是500nm-600nm，想问一下能不能用连续紫外激光器做，脉冲的太贵了，还有膜厚大概几十到几百个nm，能不能推荐相应的光刻胶型号，最好正性和负性的都推荐一下，如果有的话，谢谢...

连续的也可以，但是要考虑功率问题。我没用过紫外的光刻胶，不过紫外光刻胶很多公司都有卖的。
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10楼2013-10-17 17:36:15
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