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快乐的土豆

金虫 (初入文坛)

Michael

[求助] 光刻胶和激光器的选择

我想制作一个周期大概600nm高几十i纳米的光栅,因没怎么接触过这个,求推荐合适波长和功率激光器(最好有型号和厂商),和光刻胶型号,另外,影响光刻胶性能参数的因素有什么?制作光栅的过程中影响光栅的高度和周期的参数有什么?能不能得到占空比可调的光栅?求解答
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zeiss

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
快乐的土豆: 金币+5, 有帮助 2013-10-17 14:33:50
首先你要确定用什么光刻方法,现在光刻技术也有很多,比如传统投影式光刻用的是汞灯的g,h,i 线,其波长都在紫外区,还有就是激光直写,这个的话可以采用405nm的半导体激光器,不过光刻对激光器的要求挺高,比如功率稳定性,光谱线宽,模式等,所以价格也不菲。还有就是楼上提到的激光干涉光刻,这个做周期性结构(如光栅 )比较好。光刻胶的话就要根据激光波长和你想要刻写在什么材料上及腐蚀工艺。
什么都没意思就真没意思了
6楼2013-10-17 11:18:55
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查看全部 11 个回答

孙?730

至尊木虫 (知名作家)

优秀版主

这个问题涉及关键技术方案 金币恐怕解决不了问题
sunyu730_emuch@126.com
2楼2013-10-14 12:36:52
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快乐的土豆

金虫 (初入文坛)

Michael

???????:
2?: Originally posted by ????730 at 2013-10-14 12:36:52
????????漰??????????? ????????????????

??????????????????????Щ????????????????????
Don'tdelay!Don'tcomplain!
3楼2013-10-14 14:19:29
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yswyx

专家顾问 (著名写手)


【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
快乐的土豆: 金币+5 2013-10-17 14:34:12
1. 光栅材料用什么?光刻胶本身吗?
2. 自己用激光器做光刻?你们有现成的光刻手段吗?激光干涉光刻还是双光子干涉光刻?
3. 什么叫占空比可调?光栅线条来回动?

影响光刻胶性能参数的因素多如牛毛,影响光栅高度和周期的参数同样多如牛毛。基本的光刻概念可以在iask或者百度文库里面搜,虽说很烂,但是满足基本感性认识还行。
4楼2013-10-14 17:18:38
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