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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 光刻胶和激光器的选择
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快乐的土豆

金虫 (初入文坛)

Michael

[求助] 光刻胶和激光器的选择

我想制作一个周期大概600nm高几十i纳米的光栅，因没怎么接触过这个，求推荐合适波长和功率激光器（最好有型号和厂商），和光刻胶型号，另外，影响光刻胶性能参数的因素有什么？制作光栅的过程中影响光栅的高度和周期的参数有什么？能不能得到占空比可调的光栅？求解答
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Don'tdelay!Don'tcomplain!
1楼 2013-10-14 11:47:14
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快乐的土豆

金虫 (初入文坛)

Michael
???????:
2?: Originally posted by ????730 at 2013-10-14 12:36:52
????????漰??????????? ????????????????

??????????????????????Щ????????????????????
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Don'tdelay!Don'tcomplain!
3楼2013-10-14 14:19:29
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查看全部 11 个回答

孙?�730

至尊木虫 (知名作家)

优秀版主
这个问题涉及关键技术方案 金币恐怕解决不了问题
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sunyu730_emuch@126.com
2楼2013-10-14 12:36:52
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yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
快乐的土豆: 金币+5 2013-10-17 14:34:12
1. 光栅材料用什么？光刻胶本身吗？
2. 自己用激光器做光刻？你们有现成的光刻手段吗？激光干涉光刻还是双光子干涉光刻？
3. 什么叫占空比可调？光栅线条来回动？

影响光刻胶性能参数的因素多如牛毛，影响光栅高度和周期的参数同样多如牛毛。基本的光刻概念可以在iask或者百度文库里面搜，虽说很烂，但是满足基本感性认识还行。
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4楼2013-10-14 17:18:38
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Apple.D.

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
快乐的土豆: 金币+5, ★有帮助 2013-10-17 14:34:02
哥们，你的光栅的周期是多少？如果是100nm一下，用激光聚光直接刻蚀恐怕很难做到。我是做激光干涉光刻的，即使使用激光干涉光刻也够呛能达到你要的要求，不过还是可以解决的就是比较繁琐，而且能制备出这个尺寸的激光器一定是紫外激光器，深紫外激光器一定能做到，但是价格非常昂贵。光刻胶的性能参数确实很多，你可以自己搜一下，如果采用激光干涉光刻的方法的话，影响光栅的高度和周期的参数主要是激光器的波长和能量，通过改变入射角度，改变占空比。
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5楼2013-10-14 17:34:45
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