应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 光刻胶和激光器的选择
111/2返回列表12下一页
查看: 2270  |  回复: 10
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看

快乐的土豆

金虫 (初入文坛)

Michael

[求助] 光刻胶和激光器的选择

我想制作一个周期大概600nm高几十i纳米的光栅，因没怎么接触过这个，求推荐合适波长和功率激光器（最好有型号和厂商），和光刻胶型号，另外，影响光刻胶性能参数的因素有什么？制作光栅的过程中影响光栅的高度和周期的参数有什么？能不能得到占空比可调的光栅？求解答
回复此楼

» 猜你喜欢

» 本主题相关商家推荐: (我也要在这里推广)

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
Don'tdelay!Don'tcomplain!
1楼 2013-10-14 11:47:14
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
回帖支持 ( 显示支持度最高的前 50 名 )

孙?�730

至尊木虫 (知名作家)

优秀版主
这个问题涉及关键技术方案 金币恐怕解决不了问题
赞一下(1人) 回复此楼
sunyu730_emuch@126.com
2楼2013-10-14 12:36:52
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
普通回帖

快乐的土豆

金虫 (初入文坛)

Michael
???????:
2?: Originally posted by ????730 at 2013-10-14 12:36:52
????????漰??????????? ????????????????

??????????????????????Щ????????????????????
赞一下 回复此楼
Don'tdelay!Don'tcomplain!
3楼2013-10-14 14:19:29
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
快乐的土豆: 金币+5 2013-10-17 14:34:12
1. 光栅材料用什么？光刻胶本身吗？
2. 自己用激光器做光刻？你们有现成的光刻手段吗？激光干涉光刻还是双光子干涉光刻？
3. 什么叫占空比可调？光栅线条来回动？

影响光刻胶性能参数的因素多如牛毛，影响光栅高度和周期的参数同样多如牛毛。基本的光刻概念可以在iask或者百度文库里面搜，虽说很烂，但是满足基本感性认识还行。
赞一下 回复此楼
4楼2013-10-14 17:18:38
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

Apple.D.

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
快乐的土豆: 金币+5, ★有帮助 2013-10-17 14:34:02
哥们，你的光栅的周期是多少？如果是100nm一下，用激光聚光直接刻蚀恐怕很难做到。我是做激光干涉光刻的，即使使用激光干涉光刻也够呛能达到你要的要求，不过还是可以解决的就是比较繁琐，而且能制备出这个尺寸的激光器一定是紫外激光器，深紫外激光器一定能做到，但是价格非常昂贵。光刻胶的性能参数确实很多，你可以自己搜一下，如果采用激光干涉光刻的方法的话，影响光栅的高度和周期的参数主要是激光器的波长和能量，通过改变入射角度，改变占空比。
赞一下 回复此楼
5楼2013-10-14 17:34:45
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

zeiss

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
快乐的土豆: 金币+5, ★有帮助 2013-10-17 14:33:50
首先你要确定用什么光刻方法，现在光刻技术也有很多，比如传统投影式光刻用的是汞灯的g,h,i 线，其波长都在紫外区，还有就是激光直写，这个的话可以采用405nm的半导体激光器，不过光刻对激光器的要求挺高，比如功率稳定性，光谱线宽，模式等，所以价格也不菲。还有就是楼上提到的激光干涉光刻，这个做周期性结构（如光栅 ）比较好。光刻胶的话就要根据激光波长和你想要刻写在什么材料上及腐蚀工艺。
赞一下 回复此楼
什么都没意思就真没意思了
6楼2013-10-17 11:18:55
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

快乐的土豆

金虫 (初入文坛)

Michael
引用回帖:
4楼: Originally posted by yswyx at 2013-10-14 17:18:38
1. 光栅材料用什么？光刻胶本身吗？
2. 自己用激光器做光刻？你们有现成的光刻手段吗？激光干涉光刻还是双光子干涉光刻？
3. 什么叫占空比可调？光栅线条来回动？

影响光刻胶性能参数的因素多如牛毛，影响光栅 ...

光栅材料是Ag，打算用激光干涉光刻，占空比可调的意思是说通过控制工艺，得到任何占空比的光栅，不知道能不能做到，只是期望能，因为才刚刚开始，知道的较少，所以各种查
赞一下 回复此楼
Don'tdelay!Don'tcomplain!
7楼2013-10-17 14:28:24
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

快乐的土豆

金虫 (初入文坛)

Michael
引用回帖:
5楼: Originally posted by Apple.D. at 2013-10-14 17:34:45
哥们，你的光栅的周期是多少？如果是100nm一下，用激光聚光直接刻蚀恐怕很难做到。我是做激光干涉光刻的，即使使用激光干涉光刻也够呛能达到你要的要求，不过还是可以解决的就是比较繁琐，而且能制备出这个尺寸的激 ...

光栅周期是500nm-600nm，想问一下能不能用连续紫外激光器做，脉冲的太贵了，还有膜厚大概几十到几百个nm，能不能推荐相应的光刻胶型号，最好正性和负性的都推荐一下，如果有的话，谢谢
赞一下 回复此楼
Don'tdelay!Don'tcomplain!
8楼2013-10-17 14:30:47
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

快乐的土豆

金虫 (初入文坛)

Michael
引用回帖:
6楼: Originally posted by zeiss at 2013-10-17 11:18:55
首先你要确定用什么光刻方法，现在光刻技术也有很多，比如传统投影式光刻用的是汞灯的g,h,i 线，其波长都在紫外区，还有就是激光直写，这个的话可以采用405nm的半导体激光器，不过光刻对激光器的要求挺高，比如功率 ...

激光干涉光刻，目前打算用波长355nm的连续激光器，求推荐光刻胶型号，最好有价格和供应商，谢谢
赞一下 回复此楼
Don'tdelay!Don'tcomplain!
9楼2013-10-17 14:32:29
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

Apple.D.

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

引用回帖:
8楼: Originally posted by 快乐的土豆 at 2013-10-17 14:30:47
光栅周期是500nm-600nm，想问一下能不能用连续紫外激光器做，脉冲的太贵了，还有膜厚大概几十到几百个nm，能不能推荐相应的光刻胶型号，最好正性和负性的都推荐一下，如果有的话，谢谢...

连续的也可以，但是要考虑功率问题。我没用过紫外的光刻胶，不过紫外光刻胶很多公司都有卖的。
赞一下 回复此楼
10楼2013-10-17 17:36:15
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 快乐的土豆 的主题更新
111/2返回列表12下一页
普通表情 龙 兔 虎 猫
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 【考研调剂】化学专业 281分，一志愿四川大学，诚心求调剂 +5 吃吃吃才有意义 2026-03-19 5/250 2026-03-19 16:18 by 30660438
[考研] 能源材料化学课题组招收硕士研究生8-10名 +4 脱颖而出 2026-03-16 12/600 2026-03-19 16:17 by 脱颖而出
[考研] 281求调剂（0805） +9 烟汐忆海 2026-03-16 19/950 2026-03-19 11:42 by laoshidan
[考研] 0703化学调剂 +8 妮妮ninicgb 2026-03-15 12/600 2026-03-19 05:55 by anny19840123
[考研] 一志愿中国海洋大学，生物学，301分，求调剂 +4 1孙悟空 2026-03-17 4/200 2026-03-18 17:59 by fivewind
[考研] 312求调剂 +8 陌宸希 2026-03-16 9/450 2026-03-18 12:39 by Linda Hu
[考研] 288求调剂，一志愿华南理工大学071005 +4 ioodiiij 2026-03-17 4/200 2026-03-18 12:36 by Linda Hu
[考研] 280求调剂 +6 咕噜晓晓 2026-03-18 7/350 2026-03-18 11:25 by 无际的草原
[考研] 考研调剂 +3 淇ya_~ 2026-03-17 5/250 2026-03-17 09:25 by Winj1e
[考研] 机械专硕325，寻找调剂院校 +3 y9999 2026-03-15 5/250 2026-03-16 19:58 by y9999
[考研] 304求调剂 +4 ahbd 2026-03-14 4/200 2026-03-16 16:48 by 我的船我的海
[考研] 0703一志愿211 285分求调剂 +5 ly3471z 2026-03-13 5/250 2026-03-16 16:16 by 哦哦123
[考研] 070300化学学硕求调剂 +6 太想进步了0608 2026-03-16 6/300 2026-03-16 16:13 by kykm678
[考研] 中科院材料273求调剂 +4 yzydy 2026-03-15 4/200 2026-03-16 15:59 by Gaodh_82
[考研] 085600材料与化工 求调剂 +13 enenenhui 2026-03-13 14/700 2026-03-16 15:19 by 了了了了。。
[考研] 中科大材料与化工319求调剂 +3 孟鑫材料 2026-03-14 3/150 2026-03-14 20:10 by ms629
[基金申请] 现在如何回避去年的某一个专家，不知道名字 +3 zk200107 2026-03-12 6/300 2026-03-14 17:13 by zk200107
[考研] 328求调剂 +3 5201314Lsy！ 2026-03-13 6/300 2026-03-14 15:31 by hyswxzs
[考研] 330求调剂 +3 ?酱给调剂跪了 2026-03-13 3/150 2026-03-14 10:13 by JourneyLucky
[考研] ［0860］321分求调剂，ab区皆可 +4 宝贵热 2026-03-13 4/200 2026-03-13 22:01 by 星空星月
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭