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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 光刻胶和激光器的选择
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yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

引用回帖:
9楼: Originally posted by 快乐的土豆 at 2013-10-17 14:32:29
激光干涉光刻，目前打算用波长355nm的连续激光器，求推荐光刻胶型号，最好有价格和供应商，谢谢...

负胶建议用SU8，超薄的型号，1010或者1020之类的。SU8本身的分辨率还是能达到你的周期要求的。
对于正胶，就比较麻烦了，i线的常用胶，做到300nm分辨率水平的，还是比较难买的。建议用shipley的1805，或者国产的i1000，都是属于可以达到0.35um水平以下的。你可以涂的薄一些，对分辨率有好处。
找“静静一yi”，她那里物料应该可以满足你。
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11楼2013-10-21 12:57:26
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