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专业: 半导体微纳机电器件与系统
管辖:
微米和纳米
【答案】应助回帖
引用回帖:
9楼
:
Originally posted by
快乐的土豆
at 2013-10-17 14:32:29
激光干涉光刻,目前打算用波长355nm的连续激光器,求推荐光刻胶型号,最好有价格和供应商,谢谢...
负胶建议用SU8,超薄的型号,1010或者1020之类的。SU8本身的分辨率还是能达到你的周期要求的。
对于正胶,就比较麻烦了,i线的常用胶,做到300nm分辨率水平的,还是比较难买的。建议用shipley的1805,或者国产的i1000,都是属于可以达到0.35um水平以下的。你可以涂的薄一些,对分辨率有好处。
找“静静一yi”,她那里物料应该可以满足你。
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11楼
2013-10-21 12:57:26
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