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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 光刻胶和激光器的选择
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快乐的土豆

金虫 (初入文坛)

Michael

[求助] 光刻胶和激光器的选择

我想制作一个周期大概600nm高几十i纳米的光栅，因没怎么接触过这个，求推荐合适波长和功率激光器（最好有型号和厂商），和光刻胶型号，另外，影响光刻胶性能参数的因素有什么？制作光栅的过程中影响光栅的高度和周期的参数有什么？能不能得到占空比可调的光栅？求解答
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Don'tdelay!Don'tcomplain!
1楼 2013-10-14 11:47:14
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快乐的土豆

金虫 (初入文坛)

Michael
引用回帖:
6楼: Originally posted by zeiss at 2013-10-17 11:18:55
首先你要确定用什么光刻方法，现在光刻技术也有很多，比如传统投影式光刻用的是汞灯的g,h,i 线，其波长都在紫外区，还有就是激光直写，这个的话可以采用405nm的半导体激光器，不过光刻对激光器的要求挺高，比如功率 ...

激光干涉光刻，目前打算用波长355nm的连续激光器，求推荐光刻胶型号，最好有价格和供应商，谢谢
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Don'tdelay!Don'tcomplain!
9楼2013-10-17 14:32:29
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孙?�730

至尊木虫 (知名作家)

优秀版主
这个问题涉及关键技术方案 金币恐怕解决不了问题
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sunyu730_emuch@126.com
2楼2013-10-14 12:36:52
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快乐的土豆

金虫 (初入文坛)

Michael
???????:
2?: Originally posted by ????730 at 2013-10-14 12:36:52
????????漰??????????? ????????????????

??????????????????????Щ????????????????????
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Don'tdelay!Don'tcomplain!
3楼2013-10-14 14:19:29
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yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
快乐的土豆: 金币+5 2013-10-17 14:34:12
1. 光栅材料用什么？光刻胶本身吗？
2. 自己用激光器做光刻？你们有现成的光刻手段吗？激光干涉光刻还是双光子干涉光刻？
3. 什么叫占空比可调？光栅线条来回动？

影响光刻胶性能参数的因素多如牛毛，影响光栅高度和周期的参数同样多如牛毛。基本的光刻概念可以在iask或者百度文库里面搜，虽说很烂，但是满足基本感性认识还行。
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4楼2013-10-14 17:18:38
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