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快乐的土豆

金虫 (初入文坛)

Michael

[求助] 光刻胶和激光器的选择

我想制作一个周期大概600nm高几十i纳米的光栅,因没怎么接触过这个,求推荐合适波长和功率激光器(最好有型号和厂商),和光刻胶型号,另外,影响光刻胶性能参数的因素有什么?制作光栅的过程中影响光栅的高度和周期的参数有什么?能不能得到占空比可调的光栅?求解答
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yswyx

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【答案】应助回帖

引用回帖:
9楼: Originally posted by 快乐的土豆 at 2013-10-17 14:32:29
激光干涉光刻,目前打算用波长355nm的连续激光器,求推荐光刻胶型号,最好有价格和供应商,谢谢...

负胶建议用SU8,超薄的型号,1010或者1020之类的。SU8本身的分辨率还是能达到你的周期要求的。
对于正胶,就比较麻烦了,i线的常用胶,做到300nm分辨率水平的,还是比较难买的。建议用shipley的1805,或者国产的i1000,都是属于可以达到0.35um水平以下的。你可以涂的薄一些,对分辨率有好处。
找“静静一yi”,她那里物料应该可以满足你。
11楼2013-10-21 12:57:26
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孙?730

至尊木虫 (知名作家)

优秀版主

这个问题涉及关键技术方案 金币恐怕解决不了问题
sunyu730_emuch@126.com
2楼2013-10-14 12:36:52
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快乐的土豆

金虫 (初入文坛)

Michael

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2?: Originally posted by ????730 at 2013-10-14 12:36:52
????????漰??????????? ????????????????

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3楼2013-10-14 14:19:29
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yswyx

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【答案】应助回帖

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快乐的土豆: 金币+5 2013-10-17 14:34:12
1. 光栅材料用什么?光刻胶本身吗?
2. 自己用激光器做光刻?你们有现成的光刻手段吗?激光干涉光刻还是双光子干涉光刻?
3. 什么叫占空比可调?光栅线条来回动?

影响光刻胶性能参数的因素多如牛毛,影响光栅高度和周期的参数同样多如牛毛。基本的光刻概念可以在iask或者百度文库里面搜,虽说很烂,但是满足基本感性认识还行。
4楼2013-10-14 17:18:38
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