24小时热门版块排行榜    

查看: 2580  |  回复: 10
当前只显示满足指定条件的回帖,点击这里查看本话题的所有回帖

快乐的土豆

金虫 (初入文坛)

Michael

[求助] 光刻胶和激光器的选择

我想制作一个周期大概600nm高几十i纳米的光栅,因没怎么接触过这个,求推荐合适波长和功率激光器(最好有型号和厂商),和光刻胶型号,另外,影响光刻胶性能参数的因素有什么?制作光栅的过程中影响光栅的高度和周期的参数有什么?能不能得到占空比可调的光栅?求解答
回复此楼

» 猜你喜欢

» 本主题相关商家推荐: (我也要在这里推广)

» 本主题相关价值贴推荐,对您同样有帮助:

Don'tdelay!Don'tcomplain!
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

Apple.D.

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
快乐的土豆: 金币+5, 有帮助 2013-10-17 14:34:02
哥们,你的光栅的周期是多少?如果是100nm一下,用激光聚光直接刻蚀恐怕很难做到。我是做激光干涉光刻的,即使使用激光干涉光刻也够呛能达到你要的要求,不过还是可以解决的就是比较繁琐,而且能制备出这个尺寸的激光器一定是紫外激光器,深紫外激光器一定能做到,但是价格非常昂贵。光刻胶的性能参数确实很多,你可以自己搜一下,如果采用激光干涉光刻的方法的话,影响光栅的高度和周期的参数主要是激光器的波长和能量,通过改变入射角度,改变占空比。
5楼2013-10-14 17:34:45
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 11 个回答

孙?730

至尊木虫 (知名作家)

优秀版主

这个问题涉及关键技术方案 金币恐怕解决不了问题
sunyu730_emuch@126.com
2楼2013-10-14 12:36:52
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

快乐的土豆

金虫 (初入文坛)

Michael

???????:
2?: Originally posted by ????730 at 2013-10-14 12:36:52
????????漰??????????? ????????????????

??????????????????????Щ????????????????????
Don'tdelay!Don'tcomplain!
3楼2013-10-14 14:19:29
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

yswyx

专家顾问 (著名写手)


【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
快乐的土豆: 金币+5 2013-10-17 14:34:12
1. 光栅材料用什么?光刻胶本身吗?
2. 自己用激光器做光刻?你们有现成的光刻手段吗?激光干涉光刻还是双光子干涉光刻?
3. 什么叫占空比可调?光栅线条来回动?

影响光刻胶性能参数的因素多如牛毛,影响光栅高度和周期的参数同样多如牛毛。基本的光刻概念可以在iask或者百度文库里面搜,虽说很烂,但是满足基本感性认识还行。
4楼2013-10-14 17:18:38
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[硕博家园] 售SCI一区文章,我:8O5.5.1.O5.4,科目全,可伽急 +3 2JOx3r2CYEgw 2026-08-22 6/300 2026-08-23 00:40 by OEbVnUOu01ol
[论文投稿] 售SCI一区T0P文章,我:8.O.55.1.O.5.4,科目全,可+急 +3 QTy3jDtz1uLt 2026-08-21 8/400 2026-08-22 23:51 by OEbVnUOu01ol
[基金申请] 2026国自然函评费到账 +11 羊腰板 2026-08-21 11/550 2026-08-22 22:03 by lsbin3733
[论文投稿] 售SCI一区文章,我:8O5.5.1.O5.4,科目全,可伽急 +3 2JOx3r2CYEgw 2026-08-22 3/150 2026-08-22 22:03 by OEbVnUOu01ol
[基金申请] 93BebMhtakh前后11位开头都是大写 +7 且听虎啸 2026-08-17 8/400 2026-08-22 21:55 by 医学老男孩
[硕博家园] 售SCI一区T0P文章,我:8.O.55.1.O.5.4,科目全,可+急 +3 2JOx3r2CYEgw 2026-08-22 5/250 2026-08-22 21:54 by OEbVnUOu01ol
[基金申请] 范进中举一文的中心思想 +3 zjuhero 2026-08-22 4/200 2026-08-22 20:02 by mycsru
[基金申请] 什么时候开奖? +7 CrisMessi 2026-08-18 8/400 2026-08-22 18:29 by 淀粉搬运工
[基金申请] 只有每年这种时候来逛逛小木虫 +24 yaoyewhu2008 2026-08-20 26/1300 2026-08-22 17:43 by kammury
[基金申请] filecode,4个jtjc了 +13 ziyangfang 2026-08-19 16/800 2026-08-22 17:08 by WH3796
[教师之家] 售一区SCI文章T0P,我:8O.551.O54,科目全,可十急 +4 2JOx3r2CYEgw 2026-08-21 4/200 2026-08-22 16:52 by sunzitan
[基金申请] 今天基金会出结果吗?20260819 +16 kkkl_v 2026-08-19 17/850 2026-08-22 16:12 by 阿布Abu
[基金申请] 建议基金发布提前给出明确的时间点 +10 kulium 2026-08-21 13/650 2026-08-21 21:58 by alongwaytogo
[基金申请] 看来今天不会放榜了? +8 chengyan1220 2026-08-21 11/550 2026-08-21 17:52 by dcqxinyang
[基金申请] 让我中一个面上吧! +11 大萍1987 2026-08-20 13/650 2026-08-21 14:48 by 20120902066
[论文投稿] 投稿咨询 +5 wwm09 2026-08-17 7/350 2026-08-21 10:11 by 期刊论文帮手
[基金申请] 估计是周四 +3 archvillain 2026-08-18 3/150 2026-08-21 01:48 by jnhyjjm
[基金申请] 今天系统多次维护,明天很可能放榜! +10 zju2000 2026-08-16 11/550 2026-08-20 20:02 by cl479861084
[基金申请] 朋友圈看到的 +6 wangzilk 2026-08-18 8/400 2026-08-19 10:55 by Haru815
[基金申请] 明天放榜? +5 Shxjjxjkx 2026-08-18 5/250 2026-08-18 18:14 by -大大大大大-
信息提示
请填处理意见