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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 光刻胶S1813的显影液
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huanghuolin

木虫 (小有名气)

[求助] 光刻胶S1813的显影液 已有1人参与

请问各位用过光刻胶S1813的虫友，S1813正常是用MF-26A显影液吗？如果没有这种显影液的话是不是可以用NaOH溶液自己稀释使用，多少浓度的NaOH，和水多少的配比，然后效果如何，如果图形的最小线条是2um的话？
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飞鸽
1楼 2013-07-26 00:36:36
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rooinlee

木虫 (正式写手)

天一阁主

【答案】应助回帖

★
感谢参与，应助指数 +1
huanghuolin: 金币+1, ★有帮助, 谢谢 2013-07-26 10:17:39
用过你说的光刻胶和显影液，不过买来的显影液是直接配好的，无需自己稀释。
你要是不清楚配方的话，可以试着做做，摸索参数啊
自己摸索一下显影时间

2um算是比较小的线宽了，我当时做的10um

祝你顺利
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2楼2013-07-26 08:57:14
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huanghuolin

木虫 (小有名气)
有没有懂的虫友啊，请不吝赐教啊！
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飞鸽
3楼2013-07-26 10:18:54
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yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
huanghuolin: 金币+3, ★★★很有帮助 2013-07-27 15:50:53
TMAH 2.38%的溶液。
也可以买现成的正胶显影液。配比都差不多。
最好不要自己配，因为你能买到的化学试剂大部分都是不洁净的，颗粒和离子沾污很严重。
NOH不要用，如果做的是电学相关的器件，Na＋对于硅器件，是很致命的离子沾污。这是学半导体的常识。
可以联系“静静一yi”买你需要的东西。
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4楼2013-07-26 12:28:22
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huanghuolin

木虫 (小有名气)
引用回帖:
4楼: Originally posted by yswyx at 2013-07-26 12:28:22
TMAH 2.38%的溶液。
也可以买现成的正胶显影液。配比都差不多。
最好不要自己配，因为你能买到的化学试剂大部分都是不洁净的，颗粒和离子沾污很严重。
NOH不要用，如果做的是电学相关的器件，Na＋对于硅器件，是 ...

请问大侠如果TMAH也没有呢？只有ammonium hydroxide不知道能不能近似替代使用？我要做GaN的器件，发现实验室只有KOH和ammonium hydroxide可以用，现在问题是时间特别急，一个月之内就要完成这些光刻工作，如果用KOH 能做吗，我知道有离子沾污，但是不知道影响到底有多大？
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飞鸽
5楼2013-07-27 15:55:26
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yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★
huanghuolin: 金币+2, ★★★很有帮助 2013-07-29 09:11:16
引用回帖:
5楼: Originally posted by huanghuolin at 2013-07-27 15:55:26
请问大侠如果TMAH也没有呢？只有ammonium hydroxide不知道能不能近似替代使用？我要做GaN的器件，发现实验室只有KOH和ammonium hydroxide可以用，现在问题是时间特别急，一个月之内就要完成这些光刻工作，如果用KO ...

如果你们实验室都是做三五族的，轻金属离子沾污倒是不怕。
但是你的KOH和氨水是MOS级以上的吗？如果不是的话，还是不用为妙。
显影液买起来很方便的，现在有很多快递能寄液体的。
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6楼2013-07-27 23:46:33
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kikumaru

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
huanghuolin: 金币+14, ★★★很有帮助 2014-03-08 18:54:19
我试过可以用KOH自己配，效果也很好，大概1%就够了，具体工艺要调试一下！
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且行且分析
7楼2014-03-08 18:45:36
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1009300574

金虫 (小有名气)
你好，请问你的两微米是怎么实现的啊？我想想做线宽两微米的矩形网格，期待你的回复。。。。。。
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做最好的自己！
8楼2014-12-26 17:31:16
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huanghuolin

木虫 (小有名气)
引用回帖:
8楼: Originally posted by 1009300574 at 2014-12-26 17:31:16
你好，请问你的两微米是怎么实现的啊？我想想做线宽两微米的矩形网格，期待你的回复。。。。。。

普通的光刻就可以啊，注意曝光和显影都要控制好，还有胶甩的薄一点
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飞鸽
9楼2014-12-26 23:16:53
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