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huanghuolin

木虫 (小有名气)

[求助] 光刻胶S1813的显影液已有1人参与

请问各位用过光刻胶S1813的虫友,S1813正常是用MF-26A显影液吗?如果没有这种显影液的话是不是可以用NaOH溶液自己稀释使用,多少浓度的NaOH,和水多少的配比,然后效果如何,如果图形的最小线条是2um的话?
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飞鸽
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rooinlee

木虫 (正式写手)

天一阁主

【答案】应助回帖


感谢参与,应助指数 +1
huanghuolin: 金币+1, 有帮助, 谢谢 2013-07-26 10:17:39
用过你说的光刻胶和显影液,不过买来的显影液是直接配好的,无需自己稀释。
你要是不清楚配方的话,可以试着做做,摸索参数啊
自己摸索一下显影时间

2um算是比较小的线宽了,我当时做的10um

祝你顺利
2楼2013-07-26 08:57:14
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