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huanghuolin

木虫 (小有名气)

[求助] 光刻胶S1813的显影液已有1人参与

请问各位用过光刻胶S1813的虫友,S1813正常是用MF-26A显影液吗?如果没有这种显影液的话是不是可以用NaOH溶液自己稀释使用,多少浓度的NaOH,和水多少的配比,然后效果如何,如果图形的最小线条是2um的话?
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飞鸽
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yswyx

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【答案】应助回帖

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huanghuolin: 金币+3, ★★★很有帮助 2013-07-27 15:50:53
TMAH 2.38%的溶液。
也可以买现成的正胶显影液。配比都差不多。
最好不要自己配,因为你能买到的化学试剂大部分都是不洁净的,颗粒和离子沾污很严重。
NOH不要用,如果做的是电学相关的器件,Na+对于硅器件,是很致命的离子沾污。这是学半导体的常识。
可以联系“静静一yi”买你需要的东西。
4楼2013-07-26 12:28:22
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yswyx

专家顾问 (著名写手)


【答案】应助回帖

★ ★
huanghuolin: 金币+2, ★★★很有帮助 2013-07-29 09:11:16
引用回帖:
5楼: Originally posted by huanghuolin at 2013-07-27 15:55:26
请问大侠如果TMAH也没有呢?只有ammonium hydroxide不知道能不能近似替代使用?我要做GaN的器件,发现实验室只有KOH和ammonium hydroxide可以用,现在问题是时间特别急,一个月之内就要完成这些光刻工作,如果用KO ...

如果你们实验室都是做三五族的,轻金属离子沾污倒是不怕。
但是你的KOH和氨水是MOS级以上的吗?如果不是的话,还是不用为妙。
显影液买起来很方便的,现在有很多快递能寄液体的。
6楼2013-07-27 23:46:33
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