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北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告

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newbeefans

木虫 (正式写手)

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虫号: 779278

[交流] 【求助】光刻用的掩模板怎么清洗？

掩模板用了很久了，表面脏了（残余光刻胶、灰尘、指纹之类的）
请问用什么清洗啊, IPO？丙酮？

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硅片、玻璃片清洗，加工

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1楼 2011-01-04 17:42:19

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woody5532

银虫 (初入文坛)

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虫号: 586473

★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流

处理起来很麻烦，我一般使用溶剂浸泡，超声振荡，但是效果也不是很好。。。

赞一下(1人)

3楼2011-03-31 08:53:16

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dugu

木虫 (小有名气)

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虫号: 937661

newbeefans(金币+10):thx 2011-01-10 16:37:44

丙酮+IPA 可以试试
不过很清洁的表面弄脏后很难清洗干净

2楼2011-01-06 16:40:29

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quanbaogang

木虫 (正式写手)

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虫号: 273719

★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖

好像是用千分之三的氢氧化钾水溶液泡，同时用特别柔软的毛笔刷。这个办法比超声好很多。

赞一下(1人)

4楼2011-04-20 00:37:54

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pjx043

银虫 (小有名气)

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★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖
金光闪闪2010(金币+1): 2011-11-19 09:02:52

我的掩膜板是微米级的，玻璃衬底，怎么清洗啊？会不会把掩膜条纹弄坏？

赞一下(2人)

5楼2011-11-19 01:08:17

已阅回复此楼关注TA 给TA发消息送TA红花 TA的回帖

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