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newbeefans

木虫 (正式写手)


[交流] 【求助】光刻用的掩模板怎么清洗?

掩模板用了很久了, 表面脏了(残余光刻胶、灰尘、指纹之类的)
请问用什么清洗啊, IPO?丙酮?
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pjx043

银虫 (小有名气)


★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖
金光闪闪2010(金币+1): 2011-11-19 09:02:52
我的掩膜板是微米级的,玻璃衬底,怎么清洗啊? 会不会把掩膜条纹弄坏?
5楼2011-11-19 01:08:17
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dugu

木虫 (小有名气)


newbeefans(金币+10):thx 2011-01-10 16:37:44
丙酮+IPA 可以试试
不过很清洁的表面弄脏后很难清洗干净
2楼2011-01-06 16:40:29
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woody5532

银虫 (初入文坛)



小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
处理起来很麻烦,我一般使用溶剂浸泡,超声振荡,但是效果也不是很好。。。
3楼2011-03-31 08:53:16
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quanbaogang

木虫 (正式写手)



小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖
好像是用千分之三的氢氧化钾水溶液泡,同时用特别柔软的毛笔刷。这个办法比超声好很多。
4楼2011-04-20 00:37:54
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